КОНТАКТНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР УВЕРСКОГО ДЛЯ ЛИНЕЙНЫХ ИЗМЕРЕНИЙ Советский патент 1968 года по МПК G01B9/02 

Контактные интерферометры предназначены цля измерения наружных линейных размеров различных изделий методом сравнения с концевыми мерами.

Известен контактный интерферометр для линейных измерений, построенный по принципу двухлучевой интерференции света при контактном касании измеряемого объекта. Известные контактные интерферометры для линейных измерений недостаточно точны потому, что не обеспечивают стабильность контактных сближений между измеряемым объектом и предметным столом.

Предлагаемый интерферометр свободен от указанного недостатка. Это достигается тем, что на линии -измерения установлены два отсчетных устройства с заданными измерительными усилиями. Между ними помещается измеряемый объект и сумма их показаний дает показание интерферометра с повышенной точностью.

На чертеже представлена нринципиальная схема предлагаемого устройства. Два встречных отсчетных устройства интерферометра в основном одинаковы. Свет от источника / с помощью конденсора 2 проходит светофильтр .3 и попадает на пластину , которая разделяет свет на два когерентных пучка. Один из них направляется на неподвижное зеркало 5,

а другой - на подвижное зеркало i5, укре.пленное на измерительном стержне 7.

Пучки света, отраженные зеркалами, проходят объектив 8 и направляются на приемное устройство, например, экран 9 со шкалой. Если разность хода лучей невелика, то световые потоки интерферируют в плоскости экрана-шкалы. В белом свете интерференционные полосы окажутся цветными и .среди них черпая ахроматическая полоса, видимая на щкале, может служить указателем положения измерительного стержня на оси прибора.

Измерение объекта УО на предлагаемом интерферометре производится сравнительным

методом и заключается в определении суммы осевых смещений измерительных стержней обоих отсчетных устройств от их нулевых положений, установленных но образцовой мере или образцовому изделию.

На чертеже экраны наказаны раздельно, в промышленном образце они могут быть совмещены известным способом.

Предмет изобретения

Контактный интерферометр для линейных измерений, содержащий оптическую систему двухлучево.го интерфер01метра, которая состоит из светоделительной пластины, подвижного и неподвижного зеркала, столика для измерячающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, он содержит на оптической оси устройства вторую оптическую систему двухлучевого интерферометра, расположенную встречно относительно первой системы, 5

при этом столик для измеряемого объекта расположен между оптическими системами, для направления интерференционных картин на приемное устройство на выходе оптической системы уста.новлена система зеркал.