Интерферометр контактный с экраном Советский патент 1962 года по МПК G01B9/02 G01D13/04 G02B27/32 

Известны контактные интерферометры с экраном, выполненные по лучевой схеме.

Описываемый интерферометр отличается от известных тем, что интepфepeнциav ьнaя картина проектируется на экран с двойной шкалой. Основная шкала экрана зигзагообразная, а вспомогательная шкала представляет собой систему взаимно параллельных оцифрованных штрихов. Оси симметрии зубцов и штрихов на шкалах совпадают. Предлагаемый интерферометр повышает точность измерений.

На фиг. 1 показана принципиальная схема предлагаемого интерферометра; на фиг. 2 - двойная шкала.

Электрическая лампа / при помощи конденсатора 2 освешает непосредственно или через светофильтр 3 пластину 4, которая разделяет свет на два пучка. Один пучок падает на неподвижное зеркало 5, а другой - на зеркало 6, которое перемешается вместе с измерительным стержнем 7 вдоль его оси. Пластина 8 служит оптическим компенсатором системы.

Двойная шкала включает основную зигзагообразную шкалу 9 и вспомогательную шкалу 10 в виде системы взаимно параллельных оцифрованных штрихов. Оси симметрии шкал 9 и 10 совпадают. Двойная шкала может перемещаться микровинтом 11.

Пучки света, отраженные зеркалами 5 и 5, частично проходят через объектив 12 и попадают на экран 13, устанавливаемый в плоскости изображения, создаваемого объективом. При небольшой разнице в ходе пучки света интерферируют в плоскости экрана 13 и полоса интерференции света вместе с двойной шкалой 14 будет видна одновременно. В белом свете интерференционные полосы окажутся цветными и среди них черная ахроматическая полоса служит указателем положения измерительного стержня 7 на оси прибора.

г, интерферометре заключается в опредепо шкале рпоГ п нулевого полож ии по шкале 9. При этом целое число делений шкалы 9 отсчитывается по

ГнаГаГи ;: / о,пределяется или непосредственно на глаз, или по способу совмещения оси симметрии предыдущего зуба с осью указателя 15, т. е. при помощи шкалы микровинта //

Предмет изобрете ния

иТ контактный с экраном, выполненный по двухлучевой схеме, от л и чающий с я тем, что. с целью повышения точности изме рении, и-нтерференционная картина проектируется на экран с двойной шкалой, содержащей основную зигзагообразную и огательную щкалу взаимно параллельных оцифрованных штрихов, причем оси си метрии штрихов и зубцов совпадают.

4

Риг I