УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДОЗИРОВАННОЙ ПОДАЧИ ПАРОВ Советский патент 1968 года по МПК B01J4/00 

Известны устройства для дозированной подачи паров исходных соединений металлов в аппараты для осаждения металлов из паровой фазы, состоящие из испарительной камеры с отверстием для выхода паров, снабженной нагревателем, и устройства для регулирования расхода паров.

Особевностью предложенного устройства является то, что оно выполнено с соплом нормального профиля, встроенным в отверстие для выхода паров, и с датчиком давления, введенным в полость камеры. Это позволяет повысить точность дозирования подаваемых паров соединений.

На чертеже схематически изображено устройство для дозированной подачи паров.

Устройство состоят из герметичной испарительной камеры / с отверстием 2 для выхода паров испаряемого соединения и нагревателя 3. Отверстие 2 камеры перекрыто игольчатым вентилем 4 и снабжено соплом 5 нормального профиля. В полость испарительной камеры введен датчик 6 давления. Полость воронки и трубки, находящихся в камере, заполнена сплавом Вуда.

Устройство работает следующ им образом.

осаж)дения металлов. Затем включают нагреватель испарительной камеры и создают в камере давление, превышающее давление рабочей камеры не менее чем в два раза. Пары в камеру подают при полностью открытом вентиле.

При поддержании в испарительной камере давления, превыщающего давление в рабочей камере не менее чем в два раза, скорость истечения пара через сопло равна скорости звука в данной среде и расход подаваемых паров зависит только от давления в испарителе и температуры пара и не зависит от давления в рабочей камере. Давление в испарительной камере измеряют датчиком, в зависимости от показаний которого регулируют подаваемую на нагреватель мощность.

Предмет изобретения

Устройство для дозированной подачи паров соединений металлов, на пример, в аппарат для осаждения металлов из паровой фазы, включающее испарительную камеру с отверстием для выхода паров, снабженную нагревателем, и дозатор, отличающееся тем, что, с целью повышения точности дозирования, оно выполнено со в-строенным в отверстие для выхода паров соплом нормального профиля и введенным в полость камеры датчиком давления.