ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯВОЛЬФРАМА Советский патент 1968 года по МПК C25F3/08 

Предлагаемый электролит применяется, в частности, при изготовлении сеток и других деталей для электровакуумных приборов.

Известны составы электролитов на щелочной основе, применяющихся для электрохимического травления и полировки вольфрама.

Однако эти электролиты пригодны для грубого травления: снятия окислов, подтравливания проволоки до нужного размера и др. При изготовлении мелкоструктурных сеток они непригодны, так как детали либо перетравливались, либо травление было неравномерным.

Предложенный состав электролита отличается от известных тем, что в него введена многоосновная карбоновая соль. Составные части электролита взяты в следующем соотношении:

калий едкий 9-10 г

калий лимоннокислый трехзамещенный 6-7 г

вода 85 мл.

Предложенный электролит позволяет регулировать скорость травления и повысить ее равномерность, причем она улучщается с уветичением основности кислоты.

электролиту трехосновных карбоновых кислот, например лимонной.

По мере увеличения углеводородного радикала карбоновых кислот скорость травления

уменьшается. Например, скорость травления в щелочном электролите с добавкой соли себациновой кислоты (соли СГ) в два раза меньше, чем в аналогичных электролитах с добавкой соли винной кислоты (сегнетовой

соли).

Использование для электрохимического травления вольфрама щелочных электролитов с добавками солей многоосновных карбоновых кислот дало возможность изготовить сетки из

вольфрамовой ленты толщиной 20 мк с щириной перемычек 20 мк и ячейкой 150 мк и другие детали из вольфрама. При этом разброс по ширине перемычек не превышал 5 мк. Описываемый электролит, использовавшийся для изготовления деталей, обеспечивает скорость травления 4 мк/мин при напряжении 9 а.

При необходимости уменьшить скорость травления до 2 мк/мин можно использовать электролит с добавкой соли СГ.

Предмет изобретения 3 ния равномерности травления и регулирования скорости травления, в его состав введена соль многоосновной карбоновой кислоты. 2. Электролит по п. 1, отличающийся тем,, что он имеет следующий состав:5 4 калий едкий 9-10 г калий лимоннокислый трехзамещенный 6-7 г вода 85 мл.