Известны способы определения коэффициента теплопроводности тонких пленок путем измерения потока тепла, проходящего через пленки, перепада температуры на них и последующего вычисления коэффициента теплопроводности по известной формуле.
Эти способы не обеспечивают точности определения, так как не учитывают термическое сопротивление контактов при измерении температуры пленок, соизмеримое с сопротивлением самих пленок.
Особенностью предложенного способа является то, что пленки собирают в пакет, а тепловой поток направляют вдоль пакета. Это позволяет повысить точность определения коэффициента теплопроводности тонких пленок.
Способ осуществляется следующим образом.
Набранные в пакет пленки закрепляют в зажимном устройстве, один конец которого связан с нагревателем и имеет свободное перемещение при расширении, а другой - жестко соединен с теплоприемником.
Перепад температуры на пленках измеряют
термопарами, спаи которых заделывают в просверленные отверстия пакета. Тепловой поток, проходящий через пакет, подсчитывают по перепаду температуры, создаваемому на эталонном материале, из которого изготовлено зажимное устройство. Для устранения боковых .,, потерь тепла измерительный участок изолируют. Все измерения проводят в вакууме после установления стационарного состояния.
Описанный способ проверен на пленках из молибдена и ряда полимеров.
Предмет изобретения
Способ определения коэффициента теплопроводности тонких пленок путем измерения потока тепла через пленки, перепада температур на них и последующего вычисления коэффициента теплопроводности по известной формуле, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения, плерки собирают в пакет, а тепловой поток направляют вдоль пакета.
