СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИАФРАГМЫ СТАТОРА ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО НАСОСА Советский патент 1968 года по МПК F04D19/04 

Известны способы изготовления диафрагмы статора турбомолекулярного вакуумного насоса путем индивидуального крепления каждой тонкостенной лопатки в ободе и кольце.

Цель изобретения - снизить трудоемкость изготовления диафрагмы.

Для этого обод и кольцо выполняют с косыми и сквозными по ширине пазами для лопаток, навивают на последние у кромок пазов проволоку, например, из меди, серебряного припоя, и помещают диафрагму в вакуумную или водородную печь с тем, чтобы расплавить проволоку и спаять ею лопатки с ободом и кольцом.

Для пояснения способа на чертеже показана диафрагма статора турбомолекулярного насоса.

Диафрагма содержит обод 1 и кольцо 2, жестко соединенные между собою лопатками 3. Лопатки своими концами вставлены в сквозные пазы, выфрезерованные в ободе и кольце. Угол α характеризует наклон пазов и лопаток к торцовой плоскости диафрагмы и определяется из расчета проточной части насоса. Лопатки, обод и кольцо изготавливают из нержавеющей стали. На лопатки у кромок пазов навивают проволоку или фольгу из меди или серебряного припоя, и после этого диафрагму перемещают в вакуумную или водородную печь. При определенном тепловом режиме в печи проволока расплавляется и затекает в щель между каждой лопаткой и стенками паза, спаивая лопатки с ободом и кольцом. Диафрагму после печи разрезают по диаметральной плоскости на две симметрические части. Стыковые поверхности разреза шабрят и пригоняют. Если ширина разреза велика, то после разреза производят окончательную обработку диафрагмы по наружному диаметру обода для центровки ее в корпусе насоса, а также по внутреннему диаметру кольца.

Таким образом получают диафрагму статора с впаянными в вакуумной или водородной печи лопатками. Такой способ изготовления прост и нетрудоемок, так как не требует индивидуального крепления каждой лопатки. Одновременная пайка всех лопаток в печи не вызывает поводок и короблений диафрагмы и не требует зачистки после пайки, так как ничтожные наплывы не вызывают гашения в вакуумной полости. Поверхности деталей диафрагмы могут быть достаточно чисто обработаны, что необходимо для работы в условиях глубокого вакуума.

Способ изготовления диафрагмы статора турбомолекулярного насоса с тонкостенными лопатками в ободе и кольце, отличающийся тем, что, с целью снижения трудоемкости, обод и кольцо выполняют с косыми и сквозными по ширине пазами для лопаток, навивают на последнее у кромок пазов проволоку, например, из меди, серебряного припоя, и помещают диафрагму в вакуумную или водородную печь с тем, чтобы расплавить проволоку и спаять ею лопатки с ободом и кольцом.