ВЫСОКОВАКУУМНАЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНАЯ УСТАНОВКА Советский патент 1968 года по МПК G01N25/00 

Изобретение относится к области различНЫ.ч физических исследований и осуществления технологических процессов в условиях, соответствующих космическому пространству и при высоких температурах.

Высоковакуумные установки имеют свою специфику, поскольку с целью обезгаживания все внутренние поверхности должны подвергаться предварительному прогреву до температур 300-450°С.

Основными недостатками существующих установок подобного типа являются большие тепловые потери, неравномерное распределение температуры по длине нагреваемого образца, большое число высоковакуумных вводов для нагревателя рабочей камеры.

Подобным примером является высоковакуумная установка УВП-40 для обезгаживания, откачки и пайки вакуумных приборов, содержащая охлаждаемый корпус с крышками, откачную систему, токоподводы и нагревательные элементы.

Нагреватель установкиИмеет водоохлаждаемые токоподводы, из-за которых возникают большие тепловые потери и значительная неравномерность распределения температуры по длине нагреваемых изделий, что приводит к сокращению рабочего пространства установки.

йсаит к увеличению времени откачки, снижению нроизводительности установки, а получение давления ниже 10 очень затруднительно.

Предлагаемое устройство отличается от известных тем, что в нем к торцу каждого водоохлаждаемого токоподвода прикреплен вилкогбразный стержень-держатель из тугоплавкого материала, на концы которого уложены опорь 3 виде секторов, выполненных из тугоплавкоггр материала и несущих нагревательтле элементы.

Это уменьшает тепловые потери, повышает равномерность температуры по длине нагреваемого изделия и уменьшает количество высоковакуумных вводов.

На фиг. 1 и 2 представлена предлагаемая установка в двух вариантах. Она имеет водоохлаждаемый кожух /, в котором установлены экранная теплоизоляция 2 и нагревательные элементы 3 сопротивления. Электрический ток подводится к нагревателям токоподводами 4. Водоохлаждаемый кожух заключен в теплоизоляцию 5, в которой помещены нагреватели 6 прогрева. За ведение.м процесса внутри установки молсно наблюдать через устройство 7. Через прогреваемый патрубок 8 осуществляют вакуумную откачку рабочего объема вакуумной системы 9. Токоподвод 4 имеет водоохлаждаемую часть 10, к которой прикреплен стерл ень 11. Концы

стержня выполнены в виде вилки с двумя дерлотелями 12. На держателях уложены кольцевые секторы 13 с навешенными на них нагревательными элементами 3.

Установка работает следующи М образом.

В нагревательную камеру загружают изделие н герметизируют ее. Кожух / и токоподводы 4 после удаления из них воды, а также патрубок 8 нагревателями 6 прогрева прогревают до температуры 400-450°С с целью обезгаживания внутренних поверхностей н производят высоковакуумную откачку камеры нагрева до рабочего вакуума вакуумной системой 9. По достижении рабочего вакуума отключаются нагреватели 6 прогрева и включаются водоохлаждение кожуха / и нагревательные элементы 3 сопротивления. Электрический ток подводится к нагревательным элементам сопротивления токоподводами 4 через медную водоохлаждаемую часть 10, стержень //, выполненный в виде вилки. В стержне электрический ток растекается н течет дальше по держателям 12 к кольцевым секторам 13 и через них к нагревательным элементам 3.

Изделие нагревается до рабочей температуры при рабочем вакууме. По окончании нагрева нагревательные сопротивления 5 выключаются и изделие охлаждается при рабочем вакууме. После этого камера открывается, производится разгрузка изделий, затем рабочий цикл повторяется.

Предлагаемая высоковакуумная высокотемпературная установка может быть использована для научно-исследовательских работ, а также в различных отраслях промышленности: радиоэлектронной, полупроводниковой, получения изделий из тугоплавких металлов и их окислов, в атомной энергетике, в области космических исследований и т. д.

Предмет изобретения

Высоковакуумная высокотемпературная установка, содержащая охлаждаемый корпус с крышками, откачную систему, охлаждаемые токоподводы и нагревательные элементы сопротивления, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения тепловых потерь, повышения равномерности температуры по длине нагреваемого изделия и уменьшения количества высоковакуумных вводов, к торцу каждого водоохлаждаемого токоподвода прикреплен вилкообразный стержень-держатель из тугоплавкого материала, на концы которого уложены опоры в виде секторов, выполненных из тугоплавкого материала и несуш,их нагревательные элементы.

уз 2