ИММЕРСИОННЫЙ МАГНИТНЫЙ ОБЪЕКТИВ ДЛЯ ЭМИССИОННОГО ЭЛЕКТРОННОГО Л1ИКРОСКОПА Советский патент 1969 года по МПК H01J37/10 H01J29/58 

Известная констрзкция иммерсионного магнитного объектива, обладающего малым фокусным расстоянием, больгиим полем зрения, большей напряженностью электрического ноля, достигаемой у поверхности катода, содержит корпус, являющийся вакуумной оболочкой устройства, магиптоировод, включающий в себя два башмака, одни из которых изолирован от корпуса, объектодержатель и катушку возбуждения.

В известной конструкнии объектодержатель соединен с изолированны.м башмаком магнитопровода и находится под высоким отрицательным иотенциало.м по отношеиию к зазе.мленному корпусу, соединенно.му с другим башмаком, который имеет отверстие для прохода электронов, формирующих изображение.

В результате того, что объектодержатель и объект иеследования находятся под высоким потенциалом относительно корпуса, служащего одновременно вакуумной оболочкой устройства, в таком объективе усложняется конструкция механизма перемещения образца.

Поскольку при исследованни электронных эмиттеров в эмиссионном электронном микроскопе возникает необходимость в измереиии ряда кх электрических характеристик (э.д.с. термопар, электропных и ионных токов, направляемых на э.миттер для возбуждения электронной эмиссии и т. д.), наличие высокого

потеициала на объекте относительно корпуса микроскопа усложняет его электрическую схему, затрудняет измерение слабых токов в электрических полях, связанных с исследуемым объекто.м, и требует большого расстояния между объектом и корпусом линзы, что ведет к увеличению диаметра ка.меры эмиссионною микроскопа.

Кроме того, известная конструкция не допускает прогрева объектива пз-за наличия катушки возбуждения. Прогрев прибора иеобходи.м для получения высокого и сверхвысокого вакуума, который требуется при исследовании электронных э.миттеров.

Предлагаемая конструкция иммерсионного .магнитного объект ша дает возможность исследовать электронные эм ттеры в условиях сверхвысокого вакуу.ма при потенциале эм 1ттеров, близком к потенциалу корпуса прибора.

Предлагаемый иммерсионный магнитный объектив для эмиссионного электронного мнкроскопа, содержащий корпус, являющийся вакуумной оболочкой устройства, магнитоировод, включающий в себя два баш.мака, один из которых изолирован от корпуса, объектодержатель и катушку возбуждения, отличается от известной конструкции тем, что с целью упрощения электрической схемы электронного мнкроскопа и обеспечения воз.можности прогрева объектива объектодержатель соединен

с корпусом объектива и заземлен, а на башмак, изолированный от корнуса и имеющий отверстие для прохода электронов, формирующих изобралсение, нодается положительный потенциал, причем катушка возбуждения выполнена съемной.

На чертеже представлена схема описываемого устройства.

Объектив состоит из корпуса 1, являющегося вакуумной оболочкой устройства, магнитопров1;да, включающего в себя два башмака 2 и 3, изолятора 4, объектодержателя 5, катушки возбуждения 6, сильфона 7, вводов 8, расположенных на сменном фланце 9, и электронной пушки 10.

Башмак 2 магнитопровода изолирован от корпуса / с помощью изолятора 4, который рассчитан на полное ускоряющее напряжение объектива.

Объектодержатель 5 вместе с закрепленным на нем объектом исследования находится либо под потенциалом корпуса 1, либо под потенциалом, близким к потенциалу корпуса 1. Объектодержатель 5 может перемещаться в вакууме за счет деформации сильфона 7. Термопары, приваренные к объекту исследования, присоединяются к вводам 8, расположенным на сменном фланце 9. Вводы 8 могут быть использованы для подсоединения нагревателя для нагрева объекта при изучении термоэмиссии. Нагрев объекта может быть также осуществлен с помощью электронной пушки 10. Для изучения вторично-электронных, ионноэлектронных и фотоэмиттеров в корпусе объективной линзы мол:ет быть сделан фланец, не показанный на чертеже, для размещения электронной или ионной пушки или окна, прозрачного для светового потока.

Катушка возбуладения 6 вместе с частью магнитопровода может сниматься во время прогрева прибора.

На объектодержателе 5 может устанавливаться большое число объектов (число и иротяженность объектов определяется только ходом перемещения сильфона 7 и ра змером корпуса линзы), что значительно экономит время, требуемое для просмотра партии объектов.

Предмет изобретения

Иммерсионный магнитный объектив для эмиссионного электронного микроскопа, содержащий корпус, являюшийся вакуумной оболочкой устройства, магнитопровод, включающий в себя два башмака, один из которых изолирован от корпуса, Объектодержатель и катушку возбуждения, отличающийся тем, что,

с целью упрощения электрической схемы электронного микроскопа и обеспечения возможности прогрева объектива, Объектодержатель соединен с корпусом объектива и заземлен, а на башмак, изолированный от корпуса и имеющий отверстие для прохода электронов, формирующих изображение, подается положительный потенциал, причем катушка возбуждения выполнена съемной.