Высоковакуумный электронный микроскоп Советский патент 1975 года по МПК H01J37/26 

1

Изобретение относится к электронно-микроскопическому приборостроению и может быть использовано в электронных микроскопах со сверхвысоким вакуумом.

Известны сверхвысоковакуумные электронные микроскопы с фокусирующими магнитными линзами, расположенными вне вакуумногерметичного корпуса и выполненными из аксиально-симметричных деталей, которые можно снять только при полной разборке микроскопа. Вакуумно-герметичный корпус в области расположения магнитных линз выполнен в виде трубы из немагнитного материала, соединенной по торцам с корпусом электронной пушки и камерой образцов. В процессе.откачки микроскоп можно прогреть до 200°С.

Однако известные электронные микроскопы невозможно демонтировать в период прогрева прибора при обезгаживании, что ограничивает температуру прогрева (примернодо 200°С) и соответственно сильно увеличивает время откачки микроскопа.

Цель изобретения - улучшение эксплуатационных качеств сверхвысоковакуумных электроннолучевых приборов.

Это достигается тем, что часть магнитопровода, расположенная между катушкой и корпусом, выполнена в виде отдельных секторов.

На чертеже представлена схема части корпуса прибора с магнитной линзой, в двух проекциях.

Приняты следующие обозначения: труба (корпус) 1; фланец 2; патрубок 3; полюсный наконечник 4; катушка 5 с обмоткой; сектор 6 магнитопровода.

Неразборный участок корпуса микроскопа состоит из тонкостенной трубы 1 из немагнитного материала, ось которой совпадает с .электронно-оптической осью прибора, приваренных фланцев 2 и патрубка 3. Внутри трубы 1 расположены полюсные наконечники 4 магнитной линзы. Между катушкой 5 с обмоткой линзы и трубой корпуса 1 часть магнитопровода выполнена в виде нескольких отдельных секторов 6, например четырех, для уменьшения асимметрии фокусирующего поля.

Вакуумно-герметичный корпус прибора изготавливают с наружными вакуумными уплотнениями (фланцы 2, патрубок 3). Катушку 5

с обмоткой магнитной линзы надевают на корпус 1 при окончательной сборке. В период обезгаживания при откачке прибора нагревательный элемент (например, электрическую печь) устанавливают в пространство между

корпусом 1 и катушкой 5; при этом катушку можно сдвинуть вдоль трубы корпуса. Прогрев корпуса прибора при обезгаживании возможен до 450°С, что уменьшает время откачки. По достижении необходимого вакуума нагревательный элемент убирают, между корпусом 1 и катушкой 5 устанавливают сектора 6,

замыкающие магнитную цепь между магнитопроводом катушки и соответствующим полюсным наконечником 4.

Предмет изобретения

Высоковакуумный электронный микроскоп, содержащий цельнометаллический участок

корпуса с фланцами, магнитопровод и цилиндрическую катушку с обмоткой, отличающийся тем, что, с целью уменьшения времени подготовки микроскопа к работе, часть магнитопровода, расположенная между катушкой и корпусом, выполнена в виде отдельных секторов.