СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭЛЕКТРОФОТОГРАФИЧЕСКИХСЛОЕВ Советский патент 1969 года по МПК G03G5/82 G03G13/22 

Изобретение отнсится к электрографии, в частности к способу изготовления электрофотографических слоев.

Известен способ получения электрофотогдафических слоев, состоящий в том, что на подложку, подогретую до 120°С, наносят в вакууме селенид мышьяка, после чего охлаждают ее до комнатной температуры. Этим способом получают слои с абсолютной величиной чувствительности к монохроматическому свету, определяемой по полуспаду потенциала и равной 0,24 при максимуме Я 560 им, не превышающей чувствительность селеновых электрофотографических слоев в собственном максимуме (430 нм.

Выщеописанные селен-мышьяковые слои обладают чувствительностью к белому свету порядка 0,2-0,3 сек, так как они в 6-10 раз чувствительнее аморфных селеновых слоев, напыленных на неподогретую подложку, имеющих чувствительность не выше 0,03 . Таким образом, данные слои, обладая чувствительностью приблизительно такой, как Se-Те слои, примерно в два раза чувствительнее лучщих селеновых слоев (0,14 ), а по другим электрографическим параметрам значительно хуже последних, так как предельный положительный потенциал селен-мышьяковых слоев достигает

только 250 8, а время полного темнового спада потенциала составляет лишь 60-100 сек.

Цель изобретения - увеличить потенциал зарядки и чувствительность ко всей видимой и близкой инфракрасной области спектра электрофотографических слоев. Согласно изобретению способ получения электрофотографических слоев состоит в том, что на подложку, подогретую до 140-280°С, наносят в

вакууме селенид мышьяка, после чего охлаждают до комнатной температуры со скоростью 1-5 град/мин. Для осуществления способа можно применять селенид мышьяка, содержащий примеси, например теллур, таллий,

серу, сурьму, индий, галлий и другие.

Для предотвращения растрескивания и отслаивания слоя перед его напылением подложку обрабатывают тлеющим разрядом или прогревают в высоком вакууме при темпера1туре 300-400°С. Это повышает адгезию подложки. Ирименяющийся в качестве подложки дюралюминий также предотвращает отделение слоя, так как обладает коэффициентом теплового расширения, близким к сплавдм

As-Se.

Пример 1. Кварцевые ампулы чистят механически, промывают эмульгирующими растворами, прополаскивают дистиллированной водой и сушат. Навески селена и мышьяка в стехиометрическом соотношении загружают в ампулу и создают в ней вакуум до тор, после чего ампулу запаивают, нагревают в нечи при темнературе 700°С в течение 3 час и охлаждают до комнатной температуры в режиме выключенной печи. При прогреве и. охлаждении встряхивают ампулу для получения гомогенности снлава. Охлажденную ампулу разбивают и полученое вещество размельчают. Полированную дюралюминиевую подложку тщательно обезжиривают, промывают дистиллированной водой, сушат и помещают в вакуумную камеру. Размельченный сплав АзгЗез помещают в испаритель в количестве, обеспечивающем при его испарении толщину слоя 15-20 мк. Дюралюминиевую подложку до напыления обрабатывают тлеющим разрядом в форвакууме в течение 10 мин при плотности тока 1-3 MulcM. После этого температуру подложки доводят до 150°С и напыляют слой селенида мышьяка со средней скоростью наслоения 1 мк/мин. По окончании напыления подложку охлаждают в вакууме до комнатной температуры со скоростью 1-5 град/мин. Слои, изготовленные по предлагаемому способу из сплавов As-Se, обладают значительно лучшими параметрами по сравнению с известными электрофотографическими слоями. Они чувствительны во всей видимой области спектра. К белому свету они в 10 раз чувствительнее селен-теллуровых и известных селен-мышьяковых слоев и более чем на порядок превышают чувствительность лучших селеновых слоев, т. е. их чувствительность к белому свету, определенная по иолуспаду потенциала, не ниже 2 лк сек. Слои способны заряжаться до 1000 в, а время полного спада потенциала в темноте составляет 1,5- 3 мин. Максимум чувствительности при 550 нж равен 0, , что также превышает чувствительность лучших известных селен-теллуровых слоев (0,4 . Пример 2. Слои AsSei.sTlo.m изготавливают, ироводя операции и придерживаясь реЖИМОВ, аналогичных указанным в примере 1, с одним различием: запаянную ампулу с мышьяком, селеном и таллием прогревают в печи при температуре 900°С. Введение таллия в состав слоя обеспечивает сдвиг максимума чувствительности до 730 нм, что является существенным при эксплуатации слоев. Пример 3. Слои на основе сплавов селена с мышьяком изготавливают, проводя операции и придерживаясь режимов, аналогичных указанным в примерах 1 или 2, в зависимости от состава испаряемого вещества, с тем различием, что вместо дюралюминиевой подложки используют стеклянную с токопроводя-. щим слоем и нагревают ее до температуры 270°С, при которой наносят слой. Эти слои на стеклянной подложке при освещении со стороны слоя обладают той же чувствительностью и спектральным ее распределением, как и слои на металлической подложке, однако при освещении через подложку чувствительность имеется лишь к красному свету, т. е. в области слабой абсорбции. Это расширяет возможность применения селен-мышьяковых слоев. Например, они могут успешно использоваться для целей рефлексной электрофотографии. Предмет изобретения 1.Способ получения электрофотографических слоев нанесением в вакууме на подогретую подложку селенида мышьяка и последующим охлаждением до комнатной температуры, отличающийся тем, что, с целью увеличения потенциала зарядки и чувствительности слоев ко всей видимой и близкой инфракрасной области спектра, подложку нагревают до 140-280°С, а охлаждение производят со скоростью 1-Б°С/мин.. 2.Способ по п. 1, отличающийся тем, что применяют селенид мышьяка, содержащий различные примеси, например теллур, серу. 3.Способ по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что, с целью повышения адгезии, подложку перед нанесением селенида мышьяка обрабатывают, например, тлеющим разрядом.