АППАРАТ ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ ИЗ ГАЗОВОЙФАЗЫ Советский патент 1969 года по МПК C01B33/35 C23C16/54 

В известных аппаратах для получения полупроводниковых материалов осаждением из газовой фазы горизонтально расположенные стержневые основы, на которые производится осаждение, крепятся каждая в двух токовводах, проходящих через стенки камеры, в связи с чем число токовводов вдвое превышает число основ. Жесткое крепление концов стержней приводит к их деформации.

Отличием описываемого аппарата является то, что стержни расположены в одной горизонтальной плоскости, соединены между собой последовательно при помощи элементов из электропроводного материала и установлены свободно на электроизолированных опорах, в качестве которых могут служить токовводы.

Это дает возможность уменьшить число токовводов на группу стержней, располол енных в одной горизонтальной плоскости, и исключить их деформацию в процессе осаждения.

На чертеже изображен описываемый аппарат.

Стержневые основы 1, на которые производится осаждение, помещены горизонтально в полости герметичной камеры 2. На каждую группу стержней, расположенных в одной горизонтальной плоскости, приходится по два токоввода 3, введенных в полость камеры на всю ее длину. Стержневые основы установлены свободно, концы их оп 1раются на токовводы, снабженные в этой части электроизоляцией. Стержни в каждой группе соединены последовательно при помощи перемычек 4 из

электропроводного материала. Ток подводится к группе стержней через контакты 5.

Аппарат может быть применен для получения стержней полупроводникового кремния водородным восстановлением его хлоридов.

После установки и соединения основ камеру уплотпяют, продувают инертным газом, затем водородом, разогревают основы и осуществляют подачу паро-газовой смеси.

15

Предмет изобретения

1. Аппарат для осаледения материалов из газовой фазы на нагретых стержневых основах, включающий герметичную камеру с введенными в ее полость электродами и горизонтально расположенными в полости камеры стержнями из одноименного с. осаждаемым материала, соединенными с токовводами, отличающийся тем, что, с целью уменьщения числа токовводов и исключения деформации стержней, стержни расположены в одной горизонтальной плоскости, соединены между собой последовательно при помощи элементов

парогазовой смеси