ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПРАВИЛЬНОСТИ ФОРМЫ ТОРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ Советский патент 1969 года по МПК G01B9/02 

Известны интерферометры для контроля правильности формы торических поверхностей, например, желоба наружного и внутреннего кольпа шарикоподшипника, содержашие источник излучения, например лазер, разделительный блок, выполненный в виде кубика с полупрозрачной диагональю, эталонное зеркало, объектив и окуляр.

Предложенный интерферометр отличается от известных тем, что он снабжен отражаюшей системой, выполненной в виде конического зеркала или сочетания конического зеркала с коническим или круговым цилиндрическим зеркалом, расположенной в ходе световых лучей за объективом таким образом, что геометрическая ось каждого зеркала системы совпадает с оптической осью объектива.

Такое выполнение интерферометра позволяет повысить производительность контроля правильности формы торических поверхностей.

На фиг. 1 дана принципиальная схема описываемого интерферометра, пастроенного на контроль желоба наружного кольца шарикоподшипника; на фиг. 2 - интерферометр, настроенный на контроль желоба внутреннего кольца шарикоподшипника.

Интерферометр содержит источник / излучения, например газовый лазер, разделительный блок, например полупрозрачную пластину 2, эталонное зеркало 3, объектив 4, окуляр 5 с сеткой 6 и отражаюш:ую систему, выполненную в виде конического зеркала 7 с наружной отражаюш.ей поверхностью или в виде сочетания конического или цилиндрического зеркала 8 с коническим зеркалом 9 с

внутренней отражаюшей поверхностью, причем геометрическая ось каждого зеркала системы совпадает с оптической осью объектива 4. Интерферометр работает следующим образом.

Пучок лучей от источника / направляется на полупрозрачную пластину 2, которая разделяет его на два пучка. Один пучок попадает на плоское эталонное зеркало 3 и, отразившись от него, направляется в окуляр 5, а другой - идет в объектив 4 и далее на коническое зеркало 7 (или на сочетание конического или цилиндрического зеркала 8 с коническим зеркалом 9), преобразующее изображенпе, даваемое объективом, в кольцевую линию, совпадаюш.ую с геометрическим местом центров кривизны образующих окружностей торической поверхности кольца шарикоподшипника 10.

После отражения от поверхности кольца W пучок идет в обратном направлении. Отражающая поверхность зеркала 7 (или сочетание зеркал 8 и 9) направляет пучок лучей в объектив 4.

окуляр 5. Оба пучка фокусируются на диафрагму 11, непосредственно за которой находится глаз наблюдателя. При правнльной геометрии поверхности кольца 10 наблюдатель видит равномерное освещенное поле. Отклонение формы поверхности контролируемого кольца от идеальной пр.иводит к появлению в поле зрения наблюдателя интерференционных полос « их деформации. По числу видимых полос и по величине их деформации можло опредеяить величину отклонения контролируемой поверхности от идеальной.

Предмет изобретения

Интерферометр для контроля правильности формы торических поверхностей, например,

желоба наружного и внутренного кольца шарикоподшипника, содержащий источник излучения, например газовый лазер, разделительный блок, например полупрозрачную пластинку, этало:нное зеркало, объектив и окуляр, .в поле зрения которого наблюдается интерференционная картина, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности контроля, он .снабжен отражающей системой, выполненной в виде конического зеркала или сочетания конического зеркала с коническим или круговым цилиндрическим зеркалом, расположенной в ходе световых лучей за объективом таким образом, что геометрическая ось

каждого зеркала системы совпадает с оптической осью объектива.