Известны способы интерференционного контроля правильности формы торических и цилиндрических поверхностей.
Однако известные способы не обеспечивают получения интерференционной картины.
Предлагаемые способы не имеют указаннего недостатка. Это достигается тем, что дуга контролируемой торической или цилиндрической поверхности сравнивается с дугой эталонного сферического зеркала аналогичного радиуса кривизны с использованием малоответственных цилиндрических линз, устанавливаемых до разделения интерферирующих пучков лучей и после их соединения.
На чертеже изображена схема устройства для осуществления предлагаемого способа, в сечениях по А-А и Б-Б.
Для осуществления способа применяется интерферометр, состоящий из диафрагмы 1 с малым отверстием, освещенным монохроматическим светом, объектива 2 коллиматора, отрицательных цилиндрических линз 3 и 4, микрообъективов 5 и 6, кубика 7 с полупрозрачной диагональю, вогнутого сферического зеркала 8, контролируемого кольца подшипника 9 и объектива 10 зрительной трубы. В горизонтальном сечении А-А объектив 2 совместно с линзой 5 и кубиком 7 дает изображение отверстия диафрагмы / на вершинах поверхностей зеркала 8 и подшипника 9. В вертикальном сечении Б-Б изображения отверстия совмещены с центрами кривизны Ci и Cz поверхностей зеркала и подшипника. При этом отраженные от этих поверхностей лучи в обоих сечениях идут обратно по прежним направлениям и после прохождения через объектив б и линзы 4 делаются направленными параллельно оптической оси. В фокусе F объектива 0 получаются два совмещенных изображения.отверстия. Глаз, помещенный в точку F, видит в объективе 10 интерференционную картину. Если поверхность подшипника 9 идеальна и если радиус кривизны ДУГИ S желоба равен радиусу зер№ 144999- 2 кала 8, то наблюдается равномерно освещенное поле зрения. Наличие волнистости или отступлений дуги S от правильной окружности вызывает появление горизонтальных интерференционных полос. По наименьшему числу полос можно измерить величину местных ошибок желоба в сечении S и построить профиль поверхности в этом сечении. Если радиусы кривизны поверхностей зеркала и подшипников несколько отличаются друг от друга, то перемеш,ением кольца вдоль оптической оси можно получить вертикальные полосы. При этом ошибки поверхности измеряются по местным искривлениям полос или по их числу, пересекающему вертикальный диаметр поля, зрения. Достоинством данной схемы является сравнение торической поверхности подшипника 9 со сферической поверхностью зеркала 8, которая может быть изготовлена с большой точностью. Через линзы 5 и 4 и объективы 5 и 6 проходят интерферирующие пучки лучей, и поэтому к качеству получаемого изображения можно не предъявлять высоких требова 1ий. Схема осуществления способа может быть при этом видоизменено. Цилиндрические линзы рассчитываются так, чтобы изображение отверстия в сечении А-А совпали с центром О кольца. При этом возможен контроль волнистости на участке поверхности не только по дуге S но и в перпендикулярном к ней сечении.
В этом случае в качестве поверхности сравнения принимается эталонная торическая поверхность зеркала 8. Согласно имеющемуся заключению предлагаемый способ, основанный на применении в оптической схеме целесообразного расположения цилиндрических линз, не требующий их высокой точности, открывает возможности техничес сого усовершенствования таких изделий, как шариковые подшипники.; До настоящего времени для шариковых подшипников измерение геометрии торических поверхностей желобов внутренних колец с точностью до десятых и даже сотых долей было недоступно.
Предлагаемый способ рекомендуется для применения в промышленности как в системе выборочного контроля массовых подшипников,, так и для контроля радиусов кривизны и волнистости поверхности желобов внутренних колец подшипников, к которым предъявляются повышенные требования.
Предмет изобретения
Способ интерференционного контроля правильности формы торических и цилиндрических поверхностей, отличающийся тем, что, с целью получения интерференционной картины, дуга контролируемой торической или цилиндрической поверхности сравнивается с дугой эталонного сферического зеркала близкого радиуса кривизны с использованием малоответственных цилиндрических линз нормальной точности, устанавливаемых до разделения интерферирующих пучков лучей и после их соединения.
