ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПОЛИРОВАННЫХ ТОРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ Советский патент 1970 года по МПК G02B5/18 

Полированные торические пове1;хности применяются в-оптико-механических ирибора.х и особенно широко в машиностроении при изготовлении колец шарикоподшипников. Известные интерферометры позволяют контролировать лишь очень небольшие участки торической поверхности.

Предлагаемый интерферометр обеспечивает контролирование с высокой точностью всей торической новерхности одновременно.Для этого в рабочей ветви интерферометра установлеиы объектив с неременным фокусным расстоянием и коническая линза в сходяш;емся пучке лучей носле объектива.

Для контроля торических поверхностей, ориентированных различно относительно кольцевого изображения, в плоскости кольцевого изображения установлена коллективная линза или сферическое зеркало.

Па фиг. 1-6 представлены варианты оптической схемы предложенного интерферометра.

Лучи от монохроматического источника света / проходят через точечную диафрагму 2, установленную в фокусе коллиматорного объектива 3, который преобразует лучевой поток в параллельный пучок.

Полупрозрачное зеркало 4 разделяет пучок на две части. Одна часть пучка попадает в эталонную ветвь интерферометра на плоское .зеркало 5, установленное перпендикулярно

падаюшим лучам. Отразившись от зеркала 5, лучи пойдут в наиравлеиии объектива 6. Вторая часть параллельного нучка лучей ностуиает в рабочую ветвь интерферометра, в которой установлены плоско-коническая линза 7, объектив 8 и контролируемая торическая поверхность 9. В фокальной нлоскости объектива 5 образуется кольцевое изображение ЛЛ, плоскость которого нерпендикулярна ОНТИЧРСкой оси объектива 8. Торическая поверхность 9 устанавливается так, чтобы геометрическое место центров кривизны сечений, проходяших через ось кольца шарикоподшипника (меридиональные сечения), совпало с кольцевым изображением АА. Тогда все лучи, падаюш,ие на торическую поверхность, будут нанравлены нормально к ней н после отражения от торической поверхности пойдут в обратном направлении. По интерференцнонной картнне с помощью объектива 8 определяют качество поверхности с точностью 0,05-0,15 мк.

Для контроля торических поверхностей колец упорных шариконодшипннков в нлоскости кольцевого изображения установлена коллективная линза 10 (фиг. 2),.не изменяюшая диаметра кольцевого изображения, но отклоняющая пучки лучей в нужном направлении. В качестве коллективной линзы можно применять сферическое выпуклое или вогнутое зеркало (фиг. 3 и 4) соответственно для конт