СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СПЕКТРОДЕЛИТЕЛЕЙ " "^ Советский патент 1969 года по МПК G02B1/10 

Известные способы изготовления интерференционных спектроделителей из чередующихся слоев с высоким и низким показателями преломления основаны на фотометрическом контроле толщин слоев при длине волны ,о. Такие способы удобны при контроле четвертьволновых слоев. Однако они не обеспечивают требуемой точности при Контроле последнего СЛОЯ, оптическая толщина которого для получения гладкой спектральной характеристики в области высокого пропускания должна отличаться от -0/4.

В предлагаемол способе в отличие от известных последний слой наносят до такой толщины, при которой пропускание спектроделителя становр1тся максимальным в области спектра, соответствующей высокому пропусканию спектроделителя.

Предлагаемый способ заключается в следующем .

Подложки, на которые следует нанести многослойное покрытие, образующее спектроделитель, номен1,ают в вакуумную камеру. По одной из подложек в процессе напыления слоев производится контроль толщины с помощью фотометрического устройства. Ма эту подложку направляют лучистый поток от источника сплощцого cneKipa, например лампы накаливания. Прошедщий образец ноток проектируют на вход блока монохроматизации, расположенный вне вакуумной камеры. Выделенный этим блоком лучистый поток заданного спектрального соста)за направляют на приемник лучистой энергии, нанример фотоумножитель. Сигнал, возникающий на нриемнике, подают на регистрирующее устройство, отсчет которого линейно связан с пропусканием образца.

Сначала испарением в вакууме наносят чередующиеся четвертьволновые слои с высоКИМ и низким показателями преломления. Их

толщину контролируют при длине волны .|),

соответствующей нанбольщему отражению спектроделителя. О том, что оптическая толщина слоя становится равной Ло/4, судят по

достижению на регистрирующем устройстве экстремального отсчета.

После нанесения четвертьволновых слоев спектральная характеристика в области высокого отражения получается сформированной,

а в области высокого пропускания имеет провалы и горбы.

Для сглаживания в этой области спектральной характеристики наносят еще один или несколько слоев. Причем предварительно неренастраивают фотометрическое устройство. Поток, прошедщнй через контрольный образец, направляют на фильтр, выделяющий щирокую спектральную область, соответствующую области высокого пропускания спектроделителя.

достижении максимального отсчета на регистрирующем устройстве.

Спектральная характеристика спектроделителя получается гладкой и интегральное пропускание в области высокого пропускания возрастает.

Предмет изобретения

Способ изготовления спектроделителей из чередующихся А/4 слоев с высоким и низким

показателями преломления с фотометрическим контролем толщин наносимых слоев, отличающийся тем, что, с целью сглаживания спектральной характеристики и увеличения интегрального пропускания в области высокого пропускания, последний слой наносят, измеряя пропускание в спектральной области, соответствующей высокому пропусканию спектроделителя, до достижения максимального значения величины пропускания.