СПОСОБ БЕСКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ толщиныПЛАСТИН из Советский патент 1969 года по МПК G01B11/06 

Известен способ бесконтактного измерения толщины пластин из прозрачного материала, заключающийся в том, что через пластину пропускают пучок лучей и измеряют его смещение, по которому судят о толщине пл астины.

предлагаемый способ отличается от извесгного тем, что осуществляют многократное прохождение пучка лучей через пластину при помощи зеркал. Это отличие позволяет повысить точность измерения.

Для упрощения процесса измерения через пластину пропускают сходящийся пучок лучей.

Описываемый способ иллюстрируется чертежом.

Бесконтактное измерение толщины пластины из прозрачного материала по предлагаемому способу производят следующим образом.

Источником света / с помощью конденсорной линзы 2 освещают диафрагму со щелью 3. Микрообъектив 4 при этом дает изображение щели 3 на поверхности вспомогательного зеркала 5. Наклонный сходящийся пучок лучей проходит через контролируемую пластину 6, расположенную вблизи поверхности зеркала 5, отражается от зеркала, еще раз проходит через пластину 6 и микрообъектив 7 и дает вторичное изображение Si щели 3 в фокальной плоскости объектива 8 зрительной трубы.

В этой же плоскости дает изображение S щели 9 оптическая система, содержащая источник света 10, линзу 11, зеркало 12 и призму 13.

При абсолютных измерениях настройка оптических систем производится таким образом, чтобы без пластины 6 изображения Si и S2 щелей располагались на одной линии. После же установки контролируемой пластины с определенными толщиной и показателем преломления изображение Si одной щели смещается относительно изображения Sz другой щели на некоторую величину, по которой и судят о толщине контролируемой пластины.

Предмет изобретения

1.Способ бесконтактного измерения толщины пластин из прозрачного материала, заключающийся в том, что через пластину пропускают пучок лучей и измеряют его смещение, по которому судят о толщине пластины, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности измерения, осуществляют многократное прохождение пучка лучей через пластину при помощи зеркал.