СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СТАТИСТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ПРОЗРАЧНЫХ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК Советский патент 1969 года по МПК G01B11/06 

Известен способ определения статистических характериртик прозрачных Диэлектрических пленок, заключающийся в том, что через исследуемую иленку пропускают луч света.

Предлагаемый способ отличается от известного тем, что, с целью упрощения процесса и сокращения времени определения, устанавливают на пути луча когерентного света за исследуемой пленкой экран с отверстием, вращают исследуемую пленку в плоскости, перпендикулярной оси луча, получают усредненную дифракционную картину от отверстия и затем из сравнения полученной усредненной дифракционной картины с расчетной картиной определяют статистические характеристики пленки.

На чертеже изображена схема установки для реализации предлагаемого способа.

Установка содержит оптический квантовый генератор / видимой части спектра, диафрагму 2, коллиматор 3 с фильтрующим микроотверстием, электрический микродвигатель 4, экран 5 с отверстием (апертурой) определенной геометрической формы, двояковыпуклую линзу 6 и регистрирующее устройство 7 (фотоаппарат).

ной пленки 8 с известным показателем преломления rt и с щероховатой (в силу производственных технологич.еских причин) поверхностью. При этом падающая плоская волна когерентного света генератора 1 искажается по фазе. Связь между изменениями толщины пленки и соответствующими фазовыми сдвигами выражается формулой

(f(x, y)K-d(x, у) (л-1),

где К - -волновое число в свободном

пространстве; d(x, у) -отклонение толщины пленки от

средней;

п - показатель преломления веп1,ества пленки.

Таким образом, дифракционная картина в фокальиой плоскости линзы 6 искажается. Если исследуемый образец пленки 8 привести во вращение, например, с помощью микродвигателя 4 так, чтобы за время экспонирования регистрирующего фотоаппарата 7 перед отверстием прошло достаточное для усреднения число участков пленки (20), то можно зафиксировать усредненную дифракционную картину. На этом процессе непосредственного измерения заканчивается и начинается процесс обработки.

Получеййоё изображение усредненной дифракционной картины фотометрируется, например, с помощью микрофотометров МФ-2, МФ-4, а графики сравниваются с известными расчетными средними диаграммами направленности для антенн, геометрическая форма которых совпадает с формой отверстия в экране 5.

Сравнение экспериментальных и расчетных кривых позволяет с достаточно высокой точностью определить статистические характеристики пленок, а именно:

среднеквадратическое отклонение толщины пленки

),(i-iy и радиус корреляции этого отклонения

где с - относительный радиус корреляции

(расчетный), L - размер использовавшейся апертуры.

Предмет изобретения

Способ определения статистических характеристик прозрачных диэлектрических плеиок, заключающийся в том, что через исследуемую пленку пропускают луч светау отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса и сокращения времени определения, устанавливают на пути луча когерентного света за исследуемой пленкой экран с отверстием, вращают исследуемую пленку в плоскости, перпендикулярной оси луча, получают усредненную дифракционную картину от отверстия и затем из сравнения полученной усредненной дифракционной картины с расчетной

картиной, определяют статистические характеристики пленки.

Vi