АНАЛИЗАТОР КВАДРУПОЛЬНОГО МАСС-СПЕКТРОМЕТРА Советский патент 1969 года по МПК H01J49/26 G01N27/62 

Известный анализатор квадрупольного масс-спектрометра предназначен для сортировки влетающих в него ионов по величине отношения их масс к заряду и содержит круглые стержни или электроды гиперболической формы, расположенные относительно друг друга на строго определенных расстояниях. На стержни или гиперболические электроды подается напряжение сложной формы. Чем выше точность расположения стержней, зависяшая от конструкпии и точности изготовления устройства для фиксации стержней в пространстве, тем при прочих равных условиях выше параметры масс-спектрометра и лучпге повторяемость этих параметров. Однако стержни, формирующие электрическое поле анализатора, являются одновременно частью несущей арматуры, т. е. носителями механических нагрузок. При жестком закреплении дисков и стержней и прогреве анализатора стерл ни испытывают напряжения от температурного расширения деталей анализатора. Несущая арматура содержит прецизионно обработанные фиксирующие керамические детали. Кроме того, довольио затрудиительно периодическая очистка анализатора после определенного срока службы, так как разобрать, а затем собрать его очень трудно, а в некоторых случаях вообще невозможно.

В предлагаемом анализаторе торцы стержней неподвижно соединены посредством керамических деталей, играющих роль электрических изоляторов, с металлическими фиксаторами, вставленными в калиброванные по месту расположения и форме отверстия илат. Платы с отверстиями для прохода ионов, являющиеся входной и выходной диафрагмами, л-сестко закреплены в строго определенных полол ениях на торцах корпуса, который придает лсесткость всей конструкции анализатора.

Точность фиксации стержней в пространстве достигается путем обработки стерлчней и фиксаторов в сборе и выполнения калиброванных отверстпй и отверстий для ирохода ионов в платах с одного установа деталей на станке. Керамические детали не являются фиксаторами, поэтому прецизионная обработка их иеобязательна. Наличие гарантированных зазоров мелчду. фиксаторами и платой или установка пружинящих шайб иозволяет устранить осевые нагрузки на стерлшях при темиературном расширении деталей анализатора.

На чертеже показаи предлагаемый анализатор.

Стерлсни / неподвил но соединены с керамическими изоляторами 2, которые л естко связаны с фиксаторами 5. Фиксаторы входят в отверстие плат 4, л естко укрепленных на корпусе 5. Каждая плата, кроме отверстий для

установки фиксаторов, имеет в центре отверстие для прохода ионов. Для комненсации напряжении вдоль стержней при прогреве анализатора между фиксаторами и одной из плат установлены пружинящие шайбы 6.

Предлагаемый анализатор вместо стерл ней может иметь электроды гиперболической формы.

Предмет изобретения

Анализатор квадрунольного масс-спектрометра, содержащий цилиндрические стержни,

входную и выходную диафрагмы и изоляторы, отличающийся тем, что, с целью увеличения разрешающ,ей способности, чувствительности, скорости регистрации спектра и диапазона регистрируемых масс, к обоим торцам каждого из стержней лсестко прикреплены изоляторы меньщего диаметра с металлическими фиксаторами, профиль которых тождественен профилю стержней и которые установлены в калиброванных по месту расположения и форме отверстиях диафрагм, жестко соединенных с несущим корпусом.