Известно устройство для контроля непараллельности плоскостей детали. Оно содержит корпус, измерительный столик, источник когерентного света, систему из четырех зеркал, установленных под углом 45° к плоскости измерительного столика, объектив, фотоприемник, датчик перемещений с приводом и вычислительный блок.
Предложенное устройство обеспечивает более высокую точность измерения. Это достигнуто тем, что два зеркала устройства установлены с возможностью перемещения параллельно плоскости измерительного столика и связаны с приводом и датчиком перемещений.
На чертеже показана схема предложенного устройства.
Устройство содержит корпус (на чертеже не показан), измерительный столик /, источник когерентного света 2, систему из четырех зеркал, из которых два зеркала - 5 и 4 - неподвижные, а два другие 5 и 6 - подвижные, объектив 7, фотоприемник 8, датчик перемещений 9 с приводом (на чертеже привод не показан) и вычислительный блок 10.
подается контролируемая деталь, например кольцо подщипника.
Световой поток полупрозрачным зеркалом -3 разделяется на две части. Одна часть луча- «неподвилшая - отклоняется зеркалом 3 на точку торцовой плоскости контролируемой детали //, а затем, отразивщись от нее, проходит через зеркала 3, 4, 5 к. объективу 7.
Вторая часть - «подвижная, прошедщая через зеркало 3,-направляется зеркалом 6 в другую точку торцовой плоскости контролируемой детали и, отразивщись от нее, через зеркала 5 и 5 поступает также к объективу 7.
Собранные объективом 7 «подвижная часть луча совместно с «неподвижной образуют систему интерференционных полос в фотоприемнике 8.
При контроле непараллельности торцов колец подшипников зеркала 5 м 6 перемещаются приводом так, чтобы оптическое расстояние между зеркалами 4 и 5 равнялось оптическому расстоянию между зеркалами 3 и 5, а оптические расстояния между зеркалами 3-4 и 5-6 оставались постоянными.
Если контролируемая плоскость непараллельна плоскости измерительного столика, то при перемещении зеркал 5 и 6 будет изменяться оптическое расстояние «подвижного луча и в результате произойдет сдвиг интерференционных полос, который фиксируется фотоприемник-ом 8.
На выходе фотоприемника получим импульсы, количество которых равно числу сдвинутых интерференционных полос.
Вычислительный блок 10 фиксирует количество импульсов и выходную величину датчика перемещений Я который фиксирует перемещение «подвижного луча.
Угол «непараллельности торцовых плоскостей контролируемой детали можно определить по формуле:
,ЯД
где л/ - число импульсов, зафиксированных вычислительным блоком;
Я - длина волны света когерентного источника;
/-расстояние, на которое перемещается «подвижный луч.
Предмет изобретения
Устройство для контроля непараллельности плоскостей детали, содержащее корпус, измерительный столик, источник когерентного света, систему из четырех зеркал, установленных под углом 45° к плоскости измерительного столика, объектив, фотоприемник, датчик перемещений с приводом и вычислительный блок, отличающееся тем, что, с целью повыщепия точности измерения, два зеркала устройства установлены с возможностью перемещения параллельно плоскости измерительного столика и связаны с приводом и датчиком перемещений.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей оптических деталей | 1985 |
|
SU1249322A1 |
Устройство для контроля формы зеркал | 1979 |
|
SU796658A1 |
УЧЕБНЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР | 1998 |
|
RU2154307C2 |
ИЗОБРАЖАЮЩИЙ МИКРОЭЛЛИПСОМЕТР | 2010 |
|
RU2503922C2 |
Способ измерения диаметров и межосевого расстояния отверстий | 1986 |
|
SU1308835A1 |
Устройство для измерения перемещения светового луча по одной координате на объекте | 1974 |
|
SU526769A1 |
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ ЗАЗОРА МЕЖДУ ДВУМЯДЕТАЛЯМИ | 1971 |
|
SU319839A1 |
Интерференционное устройство для контроля линз | 1990 |
|
SU1758423A1 |
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП С КОМПЕНСАТОРОМ ОПТИЧЕСКОЙ РАЗНИЦЫ ХОДА | 2023 |
|
RU2813230C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ БЕСКОНТАКТНОГО КОНТРОЛЯ НЕПАРАЛЛЕЛЬНОСТИ ОБРАЗУЮЩИХ ЦИЛИНДРИЧЕСКИХ | 1973 |
|
SU407187A1 |
,
Даты
1970-01-01—Публикация