СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ ЗАЗОРА МЕЖДУ ДВУМЯДЕТАЛЯМИ Советский патент 1971 года по МПК G01B11/14 

Изобретение относится к области измерения линейных размерОБ в машиностроении.

Известен способ измерения величины зазора между двумя деталями с использованием интерферометра, заключающийся в том, что контролируемый узел устанавливают так, чтобы измеряемый зазор был расположен параллельно перемещению каретки интерферометра, пучок света интерферометра направляют на кромку одной из деталей, образующей измеряемый зазор, исполняющей роль подвижного зеркала интерферометра.

Но так как измерение осуществляется визуально, непосредственным счетом количества интерференционных полос, то точность полученного результата измерения зависит от степени квалификации оператора, кроме того, повышение производительности контроля ограничено возможностью восприятия перемещения интерференционных полос человеческим глазом.

Цель изобретения - повысить точность и производительность измерения.

Достигается это тем, что световой поток, направляемый на неподвижное зеркало интерферометра, разделяют на два вспомогательных пучка света, одип из которых направляют на фотоэлектронный умножитель, предназначенный для регистрации начала и конца измерения зазора по изменению освещенности фотокатода. Другой пучок света направляют на неподвижное и подвижное зеркала, отразившись от которых, интерферированный пучок света направляется на второй фотоэлектронный умножитель для непосредственной регистрации количества интерференционных полос, проходящих через фотокатод.

На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство.

Световой поток от ОКГ / разделяют светоразделительной пластиной 2 на два пучка I и II. Поток лучей пучка I объективом 3 фокусируют в плоскости, образующей измеряемый зазор 4, располол енный в фокальной плоскости объектива. Отразившись от кромки одной из проверяемых деталей, поток лучей попадает на светоразделительную пластину 2 и далее на фотоэлектронный умножитель 5. Поток лучей пучка И полупрозрачным зеркалом 6 разделяют на два пучка Ila и Пб. Пучок Па направляют к зеркалу 7, а световой пучок Пб- к зеркалу 8. При изменении расстояния между плечами Па и 11б отраженные световые потоки от зеркал 7 и 5 на полупрозрачном зеркале 6, образуют интерференционную картину и далее поступают на фотоэлектронный умножитель 9 в виде темных и светлых полос. При изменении освещенности фотокатода фотоэлектронного умножителя 5 (а это происходит при расфокусировке светового пятна в момент его попадания в проверяемый зазор) включается фотоэлектронный умножитель 9, непосредственно регистрирующий количество интерференционных полос, проходящих через фотокатод. По окончании прохождения зазора световое пятно снова попадает на кромку детали, находящуюся в фокальной плоскости объектива, изменяется величина отраженного светового потока, приходящегося на фотокатод фотони 1 ип.с1. 1J. и JfiA.lJM-f-A i yiiiwvjy« i4- i j.« /- электронного умножителя 5, который фиксирует конец измерения. Истинная величина измеряемого зазора определяется в величинах кратных длине волны оптического квантового генератора и определяется в жл в соответствии с известным уравнением: ,i где п - число полос, зарегистрированных счетчиком; А - длина волны ОКГ. Предмет изобретения Способ измерения величины зазора между двумя деталями с использованием интерферо- метра, заключающийся в том, что контролируемый узел устанавливают так, чтобы измеряемый зазор был расположен параллельно перемещению каретки интерферометра, пучок света интерферометра направляют на кромку одной из деталей, образующей измеряемый зазор, которая исполняет роль подвижного зеркала интерферометра, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и производительиости измерения, световой поток, направляемый на неподвижное зеркало интерферометра, разделяют на два вспомогательных пучка света, один из которых направляют на фотоэлектронный умножитель, предназначенный для регистрации начала и конца измерения зазора по изменению освещенности фотокатода, а другой - на неподвижное и -подвижное зеркала, отразивщись от которых, интерфериро ванный пучок света направляется на второй фотоэлектронный умножитель для непосредственной регистрации количества интерференционных полос, проходящих через фотокатод.

/777//////