УСТРОЙСТВО для НАКЛОНА ОБЪЕКТА В ЭЛЕКТРОННОММИКРОСКОПЕ Советский патент 1970 года по МПК H01J37/26 

В известных устройствах для наклона объекта в электронных микроскопах привод механизма наклона располагается вне вакуума, имеется столик для перемещения объекта и конический патрон для объекта, установленный в столике. Известные механизмы передачи движения от внешнего привода к устройству для наклона, расположенному на столике объекта, оказываются весьма сложными и, вследствие этого, имеют большие люфтьЕ и низкую точность установки угла наклона. Предлагаемое устройство обеспечивает высокую точность установки углов наклона вследствие того, что привод механизма наклона раснолагается на патроне для объекта. В корпусе патрона для объекта закреплены две биметаллические пластины, снабженные обмотками для нагрева и изгибаюш,иеся при нагреве в противоположных направлениях, причем свободные концы пластин жестко соединены между собой коромыслом, которое с помощью тяги шарнирно соединено с наклоняемым держателем образца, установленным на цапфах в корнусе патрона. На чертеже изображено предлагаемое устройство и его разрез. собой коромыслом 6. Объект закрепляется в наклонном дердсателе образца 7, шарнирно соединенном тягой 8 с коромыслом. Устройство работает следующим образом. При пропускании тока через обмотку соответствующая биметаллическая пластина изгибается и тянет с помощью коромысла тягу, которая поворачивает держатель образца вокруг оси, перпендикулярной чертежу. Изменяя силу тока, можно изменять угол наклона образца. Биметаллические пластины укреплены так, что при нагреве они изгибаются в разные стороны. Поэтому, пропуская ток через обмотки, можно обеспечить наклон в нужном направлении. Благодаря тому, что привод (биметаллические пластины) закреплен непосредственно на патроне для объекта и связь между приводом и наклоняемым держателем образца осуществляется с помощью тяги, люфты в механизме передачи движения от пластин к держателю минимальны. Так как перемещение концов биметаллических пластин зависит от температуры, то угол наклона может точно контролироваться путем точного измерения тока подогрева пластин.

перемещения объекта и конический патрон для объекта, установленный в столике, отличающееся тем, что, с целью повышения точности установки углов наклона, в корпусе патрона для объекта закреплены две биметаллические пластины, снабженные обмотками для нагрева и изгибающиеся при нагреве в противоположных направлениях, причем свободные концы пластин жестко связан4 1 между собой коромыслом, которое с помощью тяги щарнирно соединено с наклоняемым держателем образца, установленным на цапфах в корпусе патрона.