Электронный микроскоп Советский патент 1980 года по МПК H01J37/26 

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано для исследования объектов с помощью электронного пучка при боль ших углах наклона. Известен просвечивающий электронны микроскоп высокого разрешения со столиком с большим углом наклона l. В этом устройстве наклон объекта осуществляется с помощью корпуса столика и скользящего по нему в боковом направлении соосного наклоняющего конуса, подпружиненного тремя натяжными пружинами и контактирующего с ко нусом держателя образца. Горизонтальное перемещение наклоняющего кежуса обеспечивается воздействующими на него винтами, к которым он поджимается горизонтальной пружиной, прикрепленными к механическим тягам, которые привоая-г ся в действие вручную при помощи механизма управления. В описанном устрой стве угол наклона объекта составляет +ЗО в любом направлении. Недостатками известного устройства являются высокий дрейф изображения к недостаточно большие углы наклона объекта. Известен электронный микроскоп, содержащий столик со сменным патроном, в котором размещен наклоняемый, например, относительно горизонтальной оси держатель объекта,, к дистанционный электрический шаговый привод наклона держателя 2. Шаговые двигатели в даьшом устройстве установлены снаружи на колонне микроскопа и передают движение держателю объекта через вакуумные уплотнения посредством штанг. Недостатком известного устройства является значительный дройф изображения, обусловленный наличием механических связей значительной протяженности между держателем объокт/i и бочими органами исполиитолт.ных дви1, телей и прижимных пружин. Цель изобретения состоит в умень шении дрейфа изображе)шя. Цель постигается тем, что в преплогаемом устройстве электрический ша- говый привод наклона держателя выполнен в ндаце шагового авигателя, установ ленного на столике, с пассивным роторо зокрепленлым на держателе объекта соосно с ним и связанным со статором посредством коромысла, установленного в сменном патроне с во.зможностыо про дольного перемещения. Коромысло за- креплено в смешюм патроне на упругом шарнире. Поверхность коромысла, соприкасающаяся со статором, покрыта слоем индия и коромыслу задано исходное сцепление вдоль оси, превььшающее максимально возможное отклонение в этом напраЕ лении ьо время работы. На фиг. 1 показана конструкция электрического шагового привода; на фиг. 2 - узел крепления держателя , на фиг. 3 - траектории рабочего движения коромысла. На чертежах обозначено: стЪлик 1, сменный патрон 2, наклоняемый держатель объекта 3, пассиБ)1ый рютор 4, электрический шаговый двигатель 5, коромысло 6, стенка колонны микроскопа 7, вакуумно-плотный электрический ввод 8 питания дв1П ателя, подпружиненная насадка 9, пружинная накладка с призматическими пазами 1.0, цапфы 11, сетка-носитель объекта 12. Описанное устройство работает след ющим образом. F неположенны и на предметном столике 1 электрический шаговый двигате 5 содержит закрепле1шый на пьезо- элементах статор, движениекоторого управляется электрическими сигналами прибора управления. Колеблющийся ста тор приводит в движение вдоль оси электронного микроскопа коромысло б, концы которого движутся по замкнутым траекториям (фиг.З). При таком ЦШ1. жении зуб коромысла вхооит в зацепле ние с зубчатым вендом ротора 4, поворачивает ротор на угол, соответств щий одному рабочему ходу коромысла, выхооит из зацепления и возвращается в исхооное Состояние. Многократным повторением описанного дш1жения обеспечивг1ется поворот ротора и соответственно наклон объекта на задпнШ)1Й угол. 7 .4 Конструктивная связь ротора дпиателя с держателем объекта o6ecnt ивает снижение количества внешних вязей и допускает одну степень свобо- ы вращения, что позволяет резко меньшить дрейф изображения. Описпшюе стройство обеспечивает высокое разешение 5А при углах наклона объекта О 80 Формула изобретения 1. Электронный микроскоп, содержащий столик Со сме1шым патроном, в котором размещен наклоняемый держатель объекта, и дистанционный электрический шаговый привод наклона держателя, отличающийся тем, что, с целью уменьшения дрейфа, привод выполнен в виде щагового двигателя, установленного на столике, с пассивным ротором, закрепленным на держателе объекта соосно с ним и связанным со статором посредством коромысла, установленного в сменном патроне с возможностью продольного перемещения. 2.Микроскоп, по п. 1, отличающий с я тем, что на роторе шагового двигателя вьшолнен зубчатый венеи, а на взаимодействующем с ним конце коромысла вьшолнен зуб, профиль которого соответствует профилю впадин зубчатого венца. 3.Микроскоп по п. 1, о т л и чающийся тем, что коромысло закреплено в сменном патроне на упругом шарнире. 4.Микроскоп по п. 3, отличающий с я тем, что поверхность коромысла, соприкасающаяся со статором, покрыта слоем индия и коромыслу задано исходное смещение вдоль оси, превышающее максимально возможное отклонение в этом направлении во время работы. Источники информации, принятые Бо внимание при экспертизе 1.М. Bouchordl, W.4, -А H«gh-Angee fietina Stooe for the 65О Hitachi EeecUX)n Microscope ,Pev Scv nslruro V.4,N4 (1973) 511-512., 2.Патент ФРГ № 1.61-1528, кл. 21g 37/10, опублик. 27.05.71 (прототип).

Ж

.3

/

5