Электронный микроскоп Советский патент 1980 года по МПК H01J37/26 

Описание патента на изобретение SU721867A1

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано для исследования объектов с помощью электронного пучка при боль ших углах наклона. Известен просвечивающий электронны микроскоп высокого разрешения со столиком с большим углом наклона l. В этом устройстве наклон объекта осуществляется с помощью корпуса столика и скользящего по нему в боковом направлении соосного наклоняющего конуса, подпружиненного тремя натяжными пружинами и контактирующего с ко нусом держателя образца. Горизонтальное перемещение наклоняющего кежуса обеспечивается воздействующими на него винтами, к которым он поджимается горизонтальной пружиной, прикрепленными к механическим тягам, которые привоая-г ся в действие вручную при помощи механизма управления. В описанном устрой стве угол наклона объекта составляет +ЗО в любом направлении. Недостатками известного устройства являются высокий дрейф изображения к недостаточно большие углы наклона объекта. Известен электронный микроскоп, содержащий столик со сменным патроном, в котором размещен наклоняемый, например, относительно горизонтальной оси держатель объекта,, к дистанционный электрический шаговый привод наклона держателя 2. Шаговые двигатели в даьшом устройстве установлены снаружи на колонне микроскопа и передают движение держателю объекта через вакуумные уплотнения посредством штанг. Недостатком известного устройства является значительный дройф изображения, обусловленный наличием механических связей значительной протяженности между держателем объокт/i и бочими органами исполиитолт.ных дви1, телей и прижимных пружин. Цель изобретения состоит в умень шении дрейфа изображе)шя. Цель постигается тем, что в преплогаемом устройстве электрический ша- говый привод наклона держателя выполнен в ндаце шагового авигателя, установ ленного на столике, с пассивным роторо зокрепленлым на держателе объекта соосно с ним и связанным со статором посредством коромысла, установленного в сменном патроне с во.зможностыо про дольного перемещения. Коромысло за- креплено в смешюм патроне на упругом шарнире. Поверхность коромысла, соприкасающаяся со статором, покрыта слоем индия и коромыслу задано исходное сцепление вдоль оси, превььшающее максимально возможное отклонение в этом напраЕ лении ьо время работы. На фиг. 1 показана конструкция электрического шагового привода; на фиг. 2 - узел крепления держателя , на фиг. 3 - траектории рабочего движения коромысла. На чертежах обозначено: стЪлик 1, сменный патрон 2, наклоняемый держатель объекта 3, пассиБ)1ый рютор 4, электрический шаговый двигатель 5, коромысло 6, стенка колонны микроскопа 7, вакуумно-плотный электрический ввод 8 питания дв1П ателя, подпружиненная насадка 9, пружинная накладка с призматическими пазами 1.0, цапфы 11, сетка-носитель объекта 12. Описанное устройство работает след ющим образом. F неположенны и на предметном столике 1 электрический шаговый двигате 5 содержит закрепле1шый на пьезо- элементах статор, движениекоторого управляется электрическими сигналами прибора управления. Колеблющийся ста тор приводит в движение вдоль оси электронного микроскопа коромысло б, концы которого движутся по замкнутым траекториям (фиг.З). При таком ЦШ1. жении зуб коромысла вхооит в зацепле ние с зубчатым вендом ротора 4, поворачивает ротор на угол, соответств щий одному рабочему ходу коромысла, выхооит из зацепления и возвращается в исхооное Состояние. Многократным повторением описанного дш1жения обеспечивг1ется поворот ротора и соответственно наклон объекта на задпнШ)1Й угол. 7 .4 Конструктивная связь ротора дпиателя с держателем объекта o6ecnt ивает снижение количества внешних вязей и допускает одну степень свобо- ы вращения, что позволяет резко меньшить дрейф изображения. Описпшюе стройство обеспечивает высокое разешение 5А при углах наклона объекта О 80 Формула изобретения 1. Электронный микроскоп, содержащий столик Со сме1шым патроном, в котором размещен наклоняемый держатель объекта, и дистанционный электрический шаговый привод наклона держателя, отличающийся тем, что, с целью уменьшения дрейфа, привод выполнен в виде щагового двигателя, установленного на столике, с пассивным ротором, закрепленным на держателе объекта соосно с ним и связанным со статором посредством коромысла, установленного в сменном патроне с возможностью продольного перемещения. 2.Микроскоп, по п. 1, отличающий с я тем, что на роторе шагового двигателя вьшолнен зубчатый венеи, а на взаимодействующем с ним конце коромысла вьшолнен зуб, профиль которого соответствует профилю впадин зубчатого венца. 3.Микроскоп по п. 1, о т л и чающийся тем, что коромысло закреплено в сменном патроне на упругом шарнире. 4.Микроскоп по п. 3, отличающий с я тем, что поверхность коромысла, соприкасающаяся со статором, покрыта слоем индия и коромыслу задано исходное смещение вдоль оси, превышающее максимально возможное отклонение в этом направлении во время работы. Источники информации, принятые Бо внимание при экспертизе 1.М. Bouchordl, W.4, -А H«gh-Angee fietina Stooe for the 65О Hitachi EeecUX)n Microscope ,Pev Scv nslruro V.4,N4 (1973) 511-512., 2.Патент ФРГ № 1.61-1528, кл. 21g 37/10, опублик. 27.05.71 (прототип).

Ж

Похожие патенты SU721867A1

название год авторы номер документа
Электронный микроскоп 1977
  • Бобров Геннадий Николаевич
  • Иванов Евгений Григорьевич
  • Акимов Игорь Михайлович
SU815794A2
УСТРОЙСТВО для НАКЛОНА ОБЪЕКТА В ЭЛЕКТРОННОММИКРОСКОПЕ 1970
SU263768A1
ГОНИОМЕТРИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВОMf? ил 1971
  • Изобретени П. П. Барзилович, В. Л. Костроменко, Э. А. Шул В. М. Яременко В. Н. Капличный, В. К. Кононенко, И. С. Лько Б. С. Турин
SU425243A1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ РАЗВЕРТКИ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТОВ, БЛИЗКИХ К ЦИЛИНДРУ ИЛИ К ПЛОСКОСТИ 2002
  • Бонштедт Б.Э.
  • Иванов С.А.
  • Крюков С.Н.
  • Хакунов В.Х.
  • Цветков С.В.
RU2212651C1
ВОЗБУДИТЕЛЬ МЕХАНИЧЕСКИХ КОЛЕБАНИЙ 2008
  • Магомедов Магомед Хабибович
RU2440660C2
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ И ЮСТИРОВКИ ОБЪЕКТИВА 2012
  • Латыев Святослав Михайлович
  • Табачков Алексей Геннадьевич
RU2515064C1
Устройство для позиционирования образца, исследуемого с помощью сканирующего микроскопа с целью получения трехмерного изображения 2022
  • Пустовалов Евгений Владиславович
  • Пустовалов Вячеслав Евгеньевич
  • Федорец Александр Николаевич
  • Ткачев Владимир Вадимович
  • Щелканов Егор Михайлович
  • Щелканов Михаил Юрьевич
RU2799239C1
СПОСОБ ДИАГНОСТИКИ ВОЗБУДИТЕЛЕЙ ИНФЕКЦИОННЫХ И ПАРАЗИТАРНЫХ БОЛЕЗНЕЙ И УСТАНОВКА ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 1997
  • Перунов Ю.М.
  • Петренко А.Г.
  • Приймак А.А.
  • Рябцев Е.И.
  • Спиридонов Ю.А.
  • Сутугин В.Г.
RU2123682C1
Установка для высокоточного одноосевого растяжения эластичных субстратов для культивирования клеток и эмбриональных тканей 2019
  • Бредов Денис Владимирович
  • Володяев Илья Владимирович
  • Мезин Алексей Васильевич
RU2723726C1
ГРАВИРОВАЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО (ВАРИАНТЫ) 2010
  • Магомедов Магомед Хабибович
RU2429139C1

Иллюстрации к изобретению SU 721 867 A1

Реферат патента 1980 года Электронный микроскоп

Формула изобретения SU 721 867 A1

.3

/

5

SU 721 867 A1

Авторы

Бобров Геннадий Николаевич

Кузин Геннадий Иванович

Даты

1980-03-15Публикация

1977-04-05Подача