ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ФИЛЬТР Советский патент 1970 года по МПК G01J1/22 G01J1/22 G01J3/02 

Известны многослойные интерференционные фильтры, изготовленные путем нанесения на прозрачную для рабочей области спектра подложку многослойных систем, состоящих из чередующихся мелсду собой покрытий с высоКИМ и низким показателями преломления.

В качестве материалов покрытий используют, например, трехсернистую сурьму, теллур и фтористый стронций.

Предложенное устройство отличается от известного тем, что покрытия выполнены из пары: германий - фтористый стронций.

Это позволяет повысить устойчивость фильтров к климатическим и механическим факторам, а также расширить область их прозрачности до 25 мкм.

Изготовление фильтров осуществляется на вакуумной установке, обеспечивающей контроль за толщинами слоев и нагрев подложек В процессе испарения. Германий (монокристалл) испаряется из графитовых тиглей, а фтористый стронций - из вольфрамовых лодочек. Давление в процессе испарения не должно превыщать 5- мм рт. ст. Подложки перед испарением нагреваются до температуры 270-300°С. В процессе нанесения слоев их температура должна поддерживаться в интервале 270-320°С. Необходимо обеспечить равномерный нагрев подложек и образца, по которому ведется контроль за толщиной напыляемых пленок. В качестве подложек могут

использоваться кварц, фтористый барий, германий, кремний и другие полупроводниковые монокристаллы.

На чертеже показаны оптические характеристики двух отрезающих фильтров, изготовленных на подложках фтористого бария (кривая 1) и просветленного слоями сульфида цинка монокристаллического германия (кривая 2).

Первый из них состоит из 13- и 11-слойных четвертьволновых систем с крайними слоями В /8 длину ВОЛНЫ, а второй - из И- и двух 9слойных систем. Все системы нанесены одна па другую. Подложка из германия просветлена на область спектра 8-12 мкм.

Фильтры, изготовленные таким образом, обладают высокой устойчивостью к механическим и климатическим воздействиям.

Так, например, фильтр на германиевой подложке обеспечивает работоспособность при низких температурах, вплоть до 20°К.

Предмет изобретения

Интерференционный фильтр, представляющий собой подложку с нанесенными на нее покрытиями с ВЫСОКИМ и низким показателем преломления, отличающийся тем, что, с целью повышения устойчивости фильтра к механическим и климатическим воздействиям, а также расширения области- его прозрачности, покрытия выполнены из пары: германий - фтористый стронций.