УСТРОЙСТВО для ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ Советский патент 1970 года по МПК H05K3/04 

Изобретение относится к чертежным устройствам- координатографам и может найти применение в микроэлектронной промышленности для нанесения рисунка (топологии микросхем) методом резания.

Отличие описываемого зстройства от известных состоит в том, что микроскоп, предназначенный для визирования, выполнен в виде перископа. Его объектив располол ен под стеклянной пластиной, а оптическая ось объектива совпадает с осью резца.

Это отличие обеспечивает повышение точности визирования.

На фиг. 1 показан общий вид устройства; на фиг. 2 - схема расположения инструмента и его визирование.

Устройство включает в себя станину-крестовый стол 1, содержапхий поперечные 2 и продольные 5 салазки, поворотный стол 4, на котором в кассете 5 установлена пластина оригинала 6, мембранную резцовую головку 7 с резцом 5, шпиндельную бабку 5, проекционные отсчетные устройства продольных 10 и поперечных // перемещений, содержащих экран 12, объектив 13, стеклянную щкалу 14 и микроскоп 15.

ной на столе 4 кассете 5. Опускают резец 5 на пластину оригинала 6 и, перемещая крестовый стол рукояткой 16 или 17, на рабочем поле пластины оригинала вычерчивают необходимый рисунок. Ускоренные холостые перемещения крестового стола осуществляют вручную при выключенных с помощью рукояток 18 или 19 механизмах перемещения.

В процессе работы через пластину оригинала 6 с помощью расположенного снизу под ней микроскопа 15 визируют вершину резца 8, причем ось резца должна совпадать с осью объектива микроскопа и изображение вершины резца должно лежать в перекрестии сетки.

Отсчет координат в процессе вычерчивания производят с помощью проекционных отсчетных устройств 10 и //. После вычерчивания рисунка выполняют контроль его размеров с помощью микроскопа 15 и проекционных отсчетных устройств 10 w. 11.

Предложенное устройство позволяет значительно noFjbicHTb производительность за счет облегчения вывода резца в требуемую координату и точность вычерчивания до 0,002 мм на площади 120x120 мм, что дает возмол ность уменьшить габариты оригинала. на станине недвижной стол, снабженный приводными механизмами для его неремещения по двум взаимно нерпендикулярным координатным осям и кассетой для закрепления стеклянной пластины, покрытой слоем металла, неподвижную рабочую головку с резцом, служащим для удаления слоя металла по заданной программе, и визирное приспособление, выполненное в виде микроскопа, отличаюш ееся тем, что, с целью повышения точности визирования, микроскоп выполнен в виде перископа; его объектив расположен под стеклянной пластиной, а оптическая ось объектива совпадает с осью резца.