УСТРОЙСТВО для ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ Советский патент 1970 года по МПК H05K3/04 

Описание патента на изобретение SU277896A1

Изобретение относится к чертежным устройствам- координатографам и может найти применение в микроэлектронной промышленности для нанесения рисунка (топологии микросхем) методом резания.

Отличие описываемого зстройства от известных состоит в том, что микроскоп, предназначенный для визирования, выполнен в виде перископа. Его объектив располол ен под стеклянной пластиной, а оптическая ось объектива совпадает с осью резца.

Это отличие обеспечивает повышение точности визирования.

На фиг. 1 показан общий вид устройства; на фиг. 2 - схема расположения инструмента и его визирование.

Устройство включает в себя станину-крестовый стол 1, содержапхий поперечные 2 и продольные 5 салазки, поворотный стол 4, на котором в кассете 5 установлена пластина оригинала 6, мембранную резцовую головку 7 с резцом 5, шпиндельную бабку 5, проекционные отсчетные устройства продольных 10 и поперечных // перемещений, содержащих экран 12, объектив 13, стеклянную щкалу 14 и микроскоп 15.

ной на столе 4 кассете 5. Опускают резец 5 на пластину оригинала 6 и, перемещая крестовый стол рукояткой 16 или 17, на рабочем поле пластины оригинала вычерчивают необходимый рисунок. Ускоренные холостые перемещения крестового стола осуществляют вручную при выключенных с помощью рукояток 18 или 19 механизмах перемещения.

В процессе работы через пластину оригинала 6 с помощью расположенного снизу под ней микроскопа 15 визируют вершину резца 8, причем ось резца должна совпадать с осью объектива микроскопа и изображение вершины резца должно лежать в перекрестии сетки.

Отсчет координат в процессе вычерчивания производят с помощью проекционных отсчетных устройств 10 и //. После вычерчивания рисунка выполняют контроль его размеров с помощью микроскопа 15 и проекционных отсчетных устройств 10 w. 11.

Предложенное устройство позволяет значительно noFjbicHTb производительность за счет облегчения вывода резца в требуемую координату и точность вычерчивания до 0,002 мм на площади 120x120 мм, что дает возмол ность уменьшить габариты оригинала. на станине недвижной стол, снабженный приводными механизмами для его неремещения по двум взаимно нерпендикулярным координатным осям и кассетой для закрепления стеклянной пластины, покрытой слоем металла, неподвижную рабочую головку с резцом, служащим для удаления слоя металла по заданной программе, и визирное приспособление, выполненное в виде микроскопа, отличаюш ееся тем, что, с целью повышения точности визирования, микроскоп выполнен в виде перископа; его объектив расположен под стеклянной пластиной, а оптическая ось объектива совпадает с осью резца.

Похожие патенты SU277896A1

название год авторы номер документа
Установка контроля размеров элементов фотошаблонов 1975
  • Новиков Вилорий Михайлович
  • Кононович Александр Юлианович
  • Чухлиб Владимир Иванович
  • Капелевич Илья Иосифович
  • Свидельский Арнольд Петрович
  • Савиковский Аркадий Иосифович
SU569846A1
Установка для контроля размеров элементов фотошаблонов 1981
  • Чехович Евгений Казимирович
SU968605A1
Устройство для контроля углов 1989
  • Киселев Николай Дмитриевич
  • Копейченко Владимир Михайлович
  • Цепелев Михаил Константинович
  • Цветков Николай Тимофеевич
SU1758426A1
СПОСОБ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ИНСТРУМЕНТА В КООРДИНАТНОЙ СИСТЕМЕ ОТСЧЕТА СТАНКА АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ГРАВИРОВАЛЬНОГО КОМПЛЕКСА 2005
  • Вязалов Сергей Юрьевич
  • Трачук Аркадий Владимирович
  • Чеглаков Андрей Валерьевич
  • Курочкин Александр Васильевич
  • Павлов Владимир Васильевич
  • Писарев Александр Георгиевич
  • Метельский Евгений Михайлович
  • Солдатченков Виктор Сергеевич
  • Чекмарев Виктор Афанасьевич
  • Климов Алексей Иванович
  • Мочалов Александр Игоревич
  • Ашкиназий Яков Михайлович
  • Чеглаков Валерий Анатольевич
  • Журавлев Андрей Владимирович
RU2279964C1
Устройство для установки венцовых объективов в высокоскоростных киносъемочных камерах с коммутацией изображения 1981
  • Решеткин Василий Иванович
  • Никулин Александр Васильевич
SU980051A1
Устройство для измерения перемещения светового луча по одной координате на объекте 1974
  • Петров Вячеслав Васильевич
  • Леонец Владимир Адамович
SU526769A1
Фотоповторитель 1977
  • Канарский А.Б.
  • Кужелев В.И.
  • Райхман Я.А.
  • Свидельский А.П.
SU680466A1
Способ изготовления прозрачных оригиналов для копирования на печатной форме и устройство для его осуществления 1976
  • Брайн Ст. Пьерр Диллоу
SU660608A3
ИСПОЛНИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА ПРОГРАММНО-АППАРАТНОГО КОМПЛЕКСА ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ РЕЗАНИЕМ ДИСКРЕТНЫХ ПРОФИЛЬНЫХ СТРУКТУР РИСУНКА ГРАВЮРЫ В ФУНКЦИОНАЛЬНОМ СЛОЕ ПЕЧАТНОЙ ФОРМЫ 2007
  • Иванов Виктор Александрович
RU2360771C2
Устройство для проекционного совмещения и мультипликации изображений 1982
  • Зайцев В.А.
  • Плавинский В.А.
  • Чухлиб В.И.
SU1088527A1

Иллюстрации к изобретению SU 277 896 A1

Реферат патента 1970 года УСТРОЙСТВО для ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ

Формула изобретения SU 277 896 A1

SU 277 896 A1

Авторы

И. И. Капелевич, А. Ю. Кононович, В. В. Сосидко Б. К.

Даты

1970-01-01Публикация