СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ Советский патент 1970 года по МПК G01B7/06 

Известен способ определения толщины пленки по величине ее омического сопротивления.

Предлагаемый способ отличается от известного тем, что пленку наносят на подложку слоем переменной толщины, например клинообразным, и замеряют сопротивления участков пленки при возвратно-поступательном движении трущегося по ее поверхности контакта. Оптимальной толщиной при заданном количестве перемещений контакта считают толщину участка, на котором изменение сопротивления не превышает класса точности резистивного элемента.

Эти отличия создают условия для определения оптимальной толщины резистивной пленки при работе ее на истирание, например в переменных резистивных элементах.

Нанеся на подложку резистивную пленку переменной толщины, например клинообразную, замеряют сопротивления участков пленки между каждой парой выводов при возвратно-поступательном движении трущегося по поверхности пленки контакта.

Оптимальной толщиной при заданном количестве перемещений контакта считают толщину участка, на котором изменение сопротивления не превышает класса точности резистивного элемента.

Предмет изобретения

Способ определения толщины пленки по величине ее омического сопротивления, огличающийся тем, что, с целью определения оптимальной толщины резистивной пленки при работе ее на истирание, например, в переменных резистивных элементах, пленку наносят на подложку слоем переменной толщины, например клинообразным, пропзводят замеры сопротивлений участков пленки при возвратно-поступательном движении трущегося по

поверхности пленки контакта и оптимальной толщиной при заданном количестве перемещений контакта считают толш.ину участка, на котором изменение сопротивления не превышает класса точности резистивного элемента.