ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ПРИБОР ДЛЯ ОТНОСИТЕЛЬНЫХ ИЗМЕРЕНИЙ ДИАМ,ЕТРОВ ШАРИКОВ И ИХ ОВАЛЬНОСТИ Советский патент 1970 года по МПК G01B11/02 G01B11/08 

Известен Интерфе ренционный прибор для относительных измерений диаметров шариков и их овальности, содержащий осветитель, коллиматор, диафрагму, установленную в фокальной плоскости объектива коллиматора, основной иитерферометр Майкельсоиа, оптическая ось которого пер пендикулярна оптической оси объектива коллиматО(ра, и включающий в себя кубик с полупрозрачной диагональной плоскостью, два одинаковых объектива, оптическая ось одного из которых параллельна оптической оси коллиматора, а ось другого - перпендикулярна оси коллиматора, эталонное сферическое зеркало, установленное так, что центр кривизны его совпадает с центром кривизны контролируемого шарика и фокусами двух одинаковых объектов.

Предлагаемый прибор от.тичается от известного тем, что, с целью повышения точности и чувствительности измерения, он снабжен дополнительным интерферометром Майкельсона, оптическая ось которого параллельна оптической оси основного интерферометра, двумя плоскими зеркала.ми, расположенными в интерферометрах за объективами, оптические оси которых перпендикулярны оптической оси коллиматора, наклонно к плоскости, перпендикулярной оптической оси объектива коллиматора, а также двумя плоскими зеркалами, расположенными под углом друг к другу, линия пересечения которых перпендикулярна оптической оси коллиматора.

На фиг. 1 схематично изображен описываемый прибор, на фиг. 2 - входная диафрагма. 5 Прибар содержит осветитель /, коллиматор 2, диафрагму 3, установленную -в фокальной плоскости объектива 4 коллиматора, основной и дополнительный интерферометры Майкельсона. Оптическая ось основного интерферометра перпендикулярна оптической оси объектива 4 коллиматора, а сам интерферометр включает в себя кубкк 5 с полупрозрачной диагональной плоскостью, два одинаковых объектива 6 и 7. оптическая ось Объек5 тива 7 пара.л гельна оптической оси «оллиматора, а ось объективов перпендикулярна оси колитиматора, эталонное сферическое зеркаю 8, установленное так, что центр кривизны его совпадает с центром кривизны контролируе0мого шарика 9 и фокусами объективов 6 и 7. Оптическая ось дополнительного интерферометра, содержащая кубик W, объективы 1J и 12, зеркало 13, параллельна оптической оси основного интерферометра.

Кроме того, прибор снабжен плоскими зеркалалга 14 и 15, располол енными в интерферометрах за объективами 6 к 11, оптические оси -которых перпендикулярны оптической оси коллиматора, на«лошю к плоскост;, перпендикулярной оптической оси объектива 4 коллиматора, а двумя плоскими зер