ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ВОГНУТЫХ ЦИЛИНДРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ Советский патент 1972 года по МПК G01B9/02 

Изобретение относится к оптическим контрольно-измерительным приборам и может быть использовано для контроля качества вогнутых цилиндрических поверхностей оптических деталей на предприятиях оптической промышленности.

Известные интерферометры для контроля цилиндрических поверхиостей позволяют нроводить измереиня в небольшом диапазоне радиусов кривизны проверяемых поверхностей. Для их работы требуется образцовая цилиндрическая новерхиость.

Особенностью П)едложеино1о интерферометра является ограничение разделенных зрачков интерферометра с помощью узких (дифракционных) щелей, которые снижают влияние аберраций интерференционной системы. В результате становится возможным нсиользовать в качестве образцовой поверхности нлоскость невысокого качества и контролировать на одном приборе цилиндрические иоверхности любых радиусов кривизны.

Предложенный интерферометр показан на чертеже.

Интерферометр содержит газовый лазер /, конденсор 2, диафрагму 3, зеркало 4, объектив коллил|атора 5, цилиндрическую линзу 6, кубик 7 с иолупрозрачной диагональной rpain:)io, цилиндрическую линзу 8, плоскую зеркал1зиоотражающую поверхность 9, проверяемую деталь 10, цилиндрическую линзу 11, объектив коллиматора 12.

Выходящий из объектива коллиматора 5 параллельный нучок направляется па цилппдрическую линзу 6, с помощью которой на гранях а и б кубика 7 собирается в прямые линии, параллельные образующим цилиндрических новерхностей линзы 8 и нроверяемой детали W и расноложенные, соответственно, в фокалыюй плоскости линзы 8 и п.чоскости центров кривнзн) проверяемо поверхности. Ма гранях а б 1()Л1), в середн е котор| Х юреза 1Ь прозрач1 з1е 11,е. (см. вид по стрелке Л). Щел) на б совме1це а с фокальной л пи1ей 6 и ронус ;ает к новерхности проверяемой детали ч-ольку ту часть учка, соторая дифрагировала на щели. После отражения от детали 10 пучок направляется в интерферометр зеркально полоски. Такой ход пучка обеспечивается соответству О ЦН смещеппем детали 10 в плоскости чертежа. Референтный пучок проходит к 8

зеркаль ой полоски, апесенной ia .. ч. В обратном направлен П1 он пропускается через щель, что достигается соответству оп1,м Р аклоном поверх 1ост1 9. дечалей 8

и 9 может б1)ТЬ уСТа 1ОВЛе О Ц Л 1НД М ЧеСКОе зеркало, . которого раСПОЛОЖе 1а к ЛОСКОСТ Г1),

ся получения полос, параллельных или перпендикулярных образующей цилиндрической посерхности. По их иепрямолинейиости судят о качестве проверяемой детали. Качество большинства деталей схемы, в том числе и поверхности 9, не оказывают заметного влияния на точность контроля.

Предмет изобретем и я

Интерферометр для контроля качества вогнутых цилиидрических поверх юстей оптических деталей, еодержащий оптические узлы

для формирования рабочей и референтной воли цилиидрической формы и наблюдения имтерфереипионной картииы, отличающийся тем, что, с гд-лью обеспечения абсолютного метода контроля качества ни.пшдрических новерхиостей и раеширеиия диапазона измерений, в фокальной илоекости цилиндрической линзы осветительного узла и за светоделительным устройством установлен две дифракционные Н1ели, причем щель в рабочем пучке установлена иа пути прямого хода, а в референтном - на пути обратного хода лучей.