ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК Советский патент 1970 года по МПК C23C14/24 

Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.

Известен испаритель для вакуумны.х установок, содержащий тигель, нагреватель и токонодвод.

Предложенный испаритель отличается от известного тем, что для получения равномерных покрытий тигель установлен на оси сателлитной шестерни планетарного механизма, а нагреватель укреплен на шатуне кривошипно-шатунного механизма, кривошип которого является одновременно водилом сателлитной шестерни.

На чертеже показан описываемый испаритель.

Он состоит из тигля /, нагревателя 2 и токоподвода 3. Тигель расположен на оси 4 сателлитной шестерни 5 планетарного механизма, включающего также неподвижную шестерню 6 водила 7. Нагреватель 2 укреплен на щатуне 8 кривошинно-щатунного механизма, кривошип которого является водилом 7 сателлитной шестерни. Один из концов нагревателя 2 заземлен, а другой соединен токоподводом 3 с источником питания.

При вращении водила 7 тигель }, обкатывая шестерню 6, вращается вокруг своей осн. В это же время нагреватель 2 при неизменном кольцевом зазоре относительно тигля / совершает круговые движения. Благодаря заданно.му движению, исключающему вращение нагревателя 2 вокруг своей оси, без скручивания токонодвода 3 обеспечить надежное энергопитание испарителя, что позволяет получать равномерные покрытия.

Предмет изобретения

Испаритель для вакуумных установок, содержащий тигель, нагреватель и токоподвод, отличающийся тем, что, с целью получения равномерных покрытий, тигель установлен на оси сателлитной шестерни планетарного механизма, а нагреватель укренлен на шатуне кривошинно-шатунпого механизма, кривошип которого является одновременно водилом сателлитной шестерни.

: