ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МИКРОСКОП ДЛЯ НАВЕДЕНИЯ НА ШТРИХ ОБЪЕКТА Советский патент 1971 года по МПК G01B9/04 

Известны фотоэлектрические микроскопы для наведения на штрих объекта, например штриховой меры, содержащие источник света, оптическую систему для получения изображения штриха, позиционно чувствительный фотоприемник, на чувствительную поверхность которого проецируется изображение штриха объекта, и электронный блок обработки сигнала с фотоприемника.

С целью повышения точности наведения на штрих объекта в предлагаемом микроскопе оптическая система выполнена в виде микроинтерферометра, одним из зеркал котооого является сам объект со штрихом, а позиционно чувствительной Аотоприемник установлен на выходе микроинтерферометра, в плоскости локализации интерференционного изображения штриха.

На чертеже показан предлагаемый фотоэлектрический микроскоп.

Фотоэлектрический микроскоп состоит из микроинтерферометра J, представляюш;его собой двухлучевой интерферометр, одним из .черкал которого является штрих - объект 2.

Интерференционная картина, создаваемая микроинтерферометром, проецируется на рабочую поверхность позиционно чувствительного фотоприемника 3. В качестве фотоприемника используются фотоэлементы с продольным фотоэффектом. Фотоприемник включен

в балансную электрическую схему, с выхода которой сигнал поступает в электронный блок 4 и далее на стрелочный индикатор 5.

Наведение на штрпх объекта производится следующим образом. Если профиль штриха имеет ось симметрии, то его интерференционное изображение имеет вид полос с симметричными искривлениями. Тогда при совпадении оси cи тмeтpии искривлений с нулевой линией сЬптоприемника сигнал на выходе балансной схемы станет равным НУЛЮ. Если проЛиль штриха и изображения полос, ему соответствмошие. РССПММРТРИЧЧЫ, то нулевая литгя совмегиаотся с заланной характерной точкой ппоЛиля. .Момент сов гешения также определяется по нулевому ВЫХОДНОМУ напряжению.

Предмет изобретения

Фотоэле трический МИКРОСКОП для наведения на штрих объекта, наприлтер штриховой меры, солержаший источник света, оптическую систему для получения изображения штриха, позипионно чувствительный сЬотоприемник. на чувствительн ю поверхность которого проецируется изображение штриха объекта, и электронный блок обработки сигнала с фотоприемника, отличаюишйся тем, что, с целью повыигения точности наведения на

на в виде микроинтерферометра, одним из зеркал которого является сам объект со штрихом, а позиционно чувствительный фотоприемник установлен на выходе микроинтерферо метра, в плоскости локализации интерференционного изображения штриха.