СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО РАСТРА Советский патент 1971 года по МПК H01J29/34 

Изобретение относится к радиоизмерительной технике.

Известен способ изготовления измерительного растра на поверхности экранов осциллографических и индикаторных электроннолучевых трубок, основанный иа вакуумном нанесении пленки.

Известный способ, будучи трудоемким, в то же время не позволяет полностью избавиться от параллакса ввиду сравнительно большой высоты линий. Кроме того, необходимость в спайке частей электроннолучевой трубки предъявляет определенные требования к температуре плавления материала для изготовления растра. Этот материал должен быть тугоплавким и химически стойким, так как на него непосредственно наносится слой люминофора. Кроме того, толщина линий растра должна быть минимальной, но они должны быть хорошо видны как в отраженном, так и в проходящем свете. Температура размягчения должна быть на 120-180°С выще температуры отжига стекла экрана. Это предъявляет жесткие требования к температуре отжига стекла экраиа, а также к температуре спайки частей экрана после нанесения измерительного растра.

мых величин, упростить их изготовление и резко увеличить производительность труда.

На предварительно очищенное и подогретое до 380°С полированное стекло 1, которое в

дальнейщем будет служить отсчетной частью электроннолучевого индикатора, с помощью электронного луча в вакуумной установке наносят первый слой 2 тантала толщиной около ЮОА. Напуском воздуха под колпак вакуумной установки этот слой подвергают термическому окислению для создания прозрачной и в то же время защищающей стекло от воздействия плавиковой кислоты пленки окисла тантала. Затем откачивают рабочий объем вакуумной установки и напыляют второй сплощной слой 3 тантала толщиной 0,1-0,5 ммк.

После извлечения стеклянной детали из вакуумной установки слой тантала покрывают светочувствительной эмульсией (фоторезистом), экспонируют через фотощаблои измерительный растр, ироявляют фоторезист, дубят его и травят не защищенные фоторезистом слои тантала в травителях для тантала, содержащих плавиковую кислоту. При этом слой

окиси тантала защищает прозрачные участки стекла между линиями масштабной сетки от травления (матирования) плавиковой кислотой. В результате проведенных операций полуданной конфигурации с количеством отсчетных делений, определяемым желанием изготовителей. Количество делений ограничивается в основном только -разрешающей способностью оптики фотоусгановки, на которой отснимается фотошаблон, и примененным фоторезистом. Полученные таким образом измерительные растры хорошо выдерживают температурные режимы стойки с колбой трубки (т. пл. тантала около 3000°С). Высокая химическая стойкость тантала дает возможность заносить люминофоры непосредственно на масштабную сетку, находящуюся на внутренней стороне экрана электроннолучевого индикатора.

П р е д м е т изобретения

Способ изготовления измерительного растра на поверхности экранов осциллографических и индикаторных электроннолучевых трубок, основанный на вакуумном нанесении пленки, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности, химической и термической стойкости растра, нанесенную на поBepxiHOCTb экрана танталовую пленку окисляют до пятиокиси тантала, напыляют на нее второй сплошной слой тантала и на нем получают, например, методом фотолитографии, измерительный растр.