УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОЛОЖЕНИЯ ПУЧКАЭЛЕКТРОНОВ Советский патент 1971 года по МПК H01J43/00 

Изобретение относится к технике измерения пучков заряженных частиц.

Известное устройство для определения ноложения нучка электронов, в котором используется эффект вторичной эмиссии, содержит собирающие и разрезанные эмиттирующие электроды. Это устройство имеет ограниченную область чувствительности.

Предлагаемое устройство отличается тем, что эмиттирующие электроды выполненЕ г в виде двух грунн носледовательно расположенных электродов со взаимно перпендикулярными разрезами, причем ширина разреза увеличивается в каждом последующем электроде.

Па чертеже нриведена принциниальная схема устройства.

Устройство содержит эмиттирующие электроды 1, выполненные в виде двух групп электродов, разрезанных по взаимно перпендикулярным направлениям с расщиряющейся щелью разреза, собирающих электродов 2 и электроизмерительного прибора 3. Устройство устанавливается на пути электронов, пернендикулярно направлению их движения. Собирающие электроды находятся под положительным потенциалом.

При прохождении нучка электронов через эмиттирующие электроды 1 из них выбиваются вторичные электроны, число которых пропорционально числу электронов первичного

нучка. Вторичные электроны попадают на собирающие электроды 2. Разность токов половин эмиттирующих электродов регистрируется электроизмерительным нрибором 3.

При смещении пучка электронов от центра датчика заряд на одной половине эмиттнрующих электродов будет возрастать, а на другой- уменьщаться. Применение эмиттирующих электродов с переменной и;елью разреза

приводит к тому, что нри дальнейшем перемещении нучка вступают в работу следующие электроды. Это обеспечивает значительное расщирение зоны чувствительности. Величина ущирения разреза от электрода к электроду

зависит от формы проекции пучка и оиределяется выходной характеристикой устройства.

Предмет изобретения

Устройство для определения положения пучка электронов, основанное на использовании эффекта вторичной эмиссии, содержащее собирающие и разрезанные эмиттирующие электроды, отличающееся тем, что, с целью увеличения чувствительности, эмиттирующие элекгроды выиолнены в виде двух групп последовательно располол ;енных электродов со взаимно нерпендикулярнымн разрезами, причем щирина разреза в каждом последующем электро