Изобретение относится к источникам нлазмы со сверхвысокочастотным электрическим разрядом.
Известны сверхвысокочастотные илазматроны, состоящие из круглого металлического волновода с расноложенной внутри него вдоль оси диэлектрической газоразрядной трубкой.
Их недостатком является существенная неоднородность стснени ионизации нлазмы в раднальном нагфавлении. Это обусловлено вытеснением электромагнитного ноля из внутренней области плазменного образования на периферию благодаря скин-эффекту.
Предлагаемый нлазматрон нозволяет увеличить однородность стеиени ионизации в газоразрядной трубке путем введения в нее замедляюн;ей системы, например, в виде ребристого стержия.
Устройство, выполненное согласно изобретению, нредставлено на чертеже.
Оно состоит нз отрезка круглого волиовода / с фланцем 2 для нодсоединегп1я к источнику питания, двухслойной диэлектрической трубки 3 и ребристого стержня -4, расиоложенного вдоль оси трубки и 1п-раюи1,его роль за медля lOHieii системы. В| 1ходная часть 5 волновода занредельна для сверхвысокочастотной волны. Канал а служит для нодачи рабочего газа, л канал б -- для выхода нлазм ы.
Работает ycTpoiicTBo следуюнив образом.
Включается нодача в а и запускается источник питания имнульсного тина. Иеобходнмый рабочий режил; может быть получен регулн ювкой расхода газа и наралзетров источника .
П р е д м е т и з о б р е т е и и я
Сверхвысокочастотный нлазматрон, состоянии из отрезка круглого волиовода с соосио расположенной инутри него днэлектрнческой 1азоразрядно1 1 трубкой, отличающийся тем, что. с нслью 1К)вы1неини однородности стеиенн ионизации нлазмы в газоразрядной трубке, вдоль оси трубки ус1ановлена замедля1оп1ая система, например, в виде ребристого сте)Жня.
СВЧ
