МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС Советский патент 1971 года по МПК H01J41/12 F04B37/00 

Для поддержания высокого и сверхвысокого вакуума в отпаянных мощных приборах СВЧ-диапазона в течение срока их службы и при длительном хранении используются магниторазрядные насосы, которые присоединяются к прибору посредством штенгеля или располагаются внутри вакуумной оболочки прибора. Известные магниторазрядные насосы состоят, как правило, из анода, представляющего собой сотовую конструкцию, набранную из ячеек круглой или квадратной в сечении формы, и двух катодов, установленных с обгих торцовых сторон анода и представляющих собой обычно сплощные гладкие или оребренные пластины. Анод и катоды монтируются в корпусе насоса, присоединяемом к реципиенту. Катоды насоса выполняются из титана, а аноды, как правило, из нержавеющей стали или меди. Удобным местом для располол-сения магниторазрядного насоса в вакуумной оболочке ряда приборов СВЧ большой мощности является коллектор нрибора. Однако известные конструкции насосов со скоростью откачки около и свыще 1 л/сек имеют весьма значительные габариты и не могут быть вмонтированы в коллектор, поэтому магииторазрядный насос подсоединяется к коллектору посредством штенгеля. Такое подсоединение магииторазрядного насоса общепринятой конструкции иарущает осевую симметрию прибора и приводит к больщому увеличению его габаритов в поперечном сечении в месте подсоединения магниторазрядного насоса. С целью улучшения компоновки и умеиьшения габаритов ряда приборов СВЧ большой мощности, снабжаемых магниторазрядным насосом для их откачки в течение срока службы, предлагается магииторазрядный насос, корпус которого выполнен в виде полого цилиндра и является анодом насоса, а катод представляет собой стержень с закреплеииыми на нем перпендикулярно его оси дискам, расположенный соосно с корпусом-анодом. Учитывая, что коллектор ряда ЭВП СВЧ представляет собой, как правило, полый цилиндр, он может быть (будучи удлиненным в осевом направлении) использован в качестве корнуса-анода магниторазрядного насоса, полость которого должна быть отделена от области собственно коллектора диафрагмой с отверстиями определенной нроводимости для исключения попадания электронного потока на насос. На чертеже изображена предлагаемая конструкция магииторазрядного насоса.

меди или нержавеющей стали. Катод выполнен в виде стержня 2 из титана или титан-молибденовой нроволоки диаметром 2 мм, на котором с определенным шагом закреплены перпендикулярно оси стержня диски 3 из титана. Катод насоса закреплен на металлокерад1ической ножке 4, изолирующей его от корпуса. Ножка заварена в корлус посредством, например, аргонодуговой сварки. Конец катода, противоположный ножке, опирается на корпус насоса через керамический изолятор 5, выполненный в виде стержня и закрепленный па стержне катода с помощью хомутика 6 нз титановой ленты.

Корпус насоса является анодом и при работе насоса заземляется; элемент корпуса насоса, расположенный между двумя соседними дисками 3 катода, является по отношению к пим как бы элементарной ячейкой анода. Следовательно, если катод насоса содержит шесть дисков 3, то насос как бы состоит из пяти

элементарных разрядных ячеек, характеризующих магниторазрядный насос общепринятой конструкции. На катод насоса нодаетс; напряжение 4-6 кв. На наружную новерхность корпуса насоса устанавливается постоянный магнит, создающий в области насоса, ограниченной крайними дисками 3, однородное магнитное ноле с папряженностью 800- 1200 эрст.

Нредмет изобретения

Магниторазрядный насос, содержащий анод и катод, отличающийся тем, что, с целью

уменьшения габаритов откачиваемого нрибора, анод насоса выполнен в виде полого металлического цилиндра, служащего одновременно корпусом насоса, а катод представляет собой стержень, расноложенный coociio с

корпусом-анодом, с закрепленными на нелт нерпендикулярно ого оси дисками.