СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ ЭЛЕКТРОННО- ДЫРОЧНОГО ПЕРЕХОДА ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ПРИБОРА Советский патент 1971 года по МПК H01L21/00 G01R29/00 

Изобретение относится к области измерения физических параметров мош,пых полунроводпиковых ириборов, наиример вентилей пли тиристоров.

Известны способы определения темнературы иолупроводпиковой структуры у вентилей и тиристоров, основанные, например, на теыпературпой зависимости прямой ветви вольтамперной характеристики в области малых токов, на температурной зависимости времени восстановления.

Но указанные способы в некоторых случаях, в частности при исследованиях тиристоров, приводят к значительным погрешностям из-за большого разброса указанных температурозависимых параметров по отдельным тиристорам (или вентилям) или требуют индивидуальной тарировки каждого исследуемого прибора.

Иногда при определениях температуры полупроводниковой структуры вентилей или тиристоров в реальных условиях в нреобразовательных установках невозможно обеспечить после такого полупериода полупериод без обратного напряжения.

Цель настоящего изобретения заключается в повышении точности измерения.

иературной зависимости напряжения лавинообразования в обратном паиравлепии.

Предлагаемый способ осуш,ествляется следу юшим образом. Через тиристор или вентиль пропускают в обратном направлении измерительиый обратный ток определенной величины и измеряют обратное иапряжегпге на тиристоре пли вентиле.

Температуру полупроводниковой структуры онределяют по заранее известной температурной зависимости напряжеппя в лавинном нробое.

Величина измерительного обратного тока соответствует режиму лавинного пробоя, но достаточно мала, чтобы не вызвала значительного дополнительного нагрева полупроводниковой структуры.

Данный сиособ нозволяет измерять температуру полупроводпиковой структуры при наличии обратного напряжения на вентиле или тиристоре, зависимость измеряемой величины от темнературы-линейная, и разброс зависимости по отдельпым вентилям или тиристорам-минимальный.

Данный снособ удобен при определении теплового сопротивления вентилей или тиристоров в обратном направлении. Последние необходимы при оиределениях перегрузочной способности вентилей или тиристоров но обратному нанряжепию. 34

Предмет изобретениямерения напряжения и определения темпераСпособ измерения температуры электронно-что, с целью повышения точности измерения, дырочного перехода полупроводникового при-измерительный ток постоянной величины, собора, обладающего контролируемым лавино-5 ответствующей режиму лавинного пробоя, образованием в обратном направлении, путемпропускают в обратном направлении, подачи па переход измерительного тока, из305524туры расчетным путем, отличающийся тем,