Известны датчики толщины осадка, содержащие электроды, погружаемые в сосуд с жидкостью, включенные в схему измерения емкости между этими электродами. Однако точность контроля тонких слоев осадка этими датчиками недостаточная.
Предлагаемый датчик отличается от известных тем, что, с целью повышения точности и чувствительности при контроле тонких слоев диэлектрических осадков, электроды выполнены в виде плоских гребенок, нанесенных на плоское диэлектрическое основание, устанавливаемое на дне сосуда.
Для повышения точности и надежности контроля датчик снабжен вторым диэлектрическим основанием с нанесенными электродами, располагаемым на боковой части корпуса сосуда.
На фиг. 1 и 2 представлены соответственно эскиз датчика и его компановка в сосуде с жидкостью.
Датчик содержит плоские электроды / в виде плоских гребенок, нанесенных на плоское диэлектрическое основание 2, устанавливаемое на дне сосуда 5. Кроме того, датчик имеет второе диэлектрическое основание 4 с нанесенными электродами, раснологаемым на
боковой части этого сосуда. Электроды 1 включены в схему 5 измерения емкости.
Датчик функционирует следующим образом.
Осадок 6, в виде тонкого слоя покрывающий основание 2, приводит к изменению емкости между электродами, нанесенными на это основание. Баланс схемы 5 измерения емкости нарушается, и на выходе ее появляется электрический сигнал, соответствующий контролируемой толщине осадка.
Предмет изобретения
1.Датчик толщины осадка, содержащий электроды, погружаемые в сосуд с жидкостью,
5 включенные в схему измерения емкости между этими электродами, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и чувствительности при контроле тонких слоев диэлектрических осадков, электроды выполнены в виде
0 плоских гребенок, нанесенных на плоское диэлектрическое основание, устанавливаемое на дне сосуда.
2.Датчик по н. I, отличающийся тем, что, . с целью повышения точности и надежности
5 контроля, он снабжен вторым диэлектр 1ческим основанием с нанесенными электродами, располагаемым на боковой части корпуса сосуда.
////Л
VI УЛ
L/I
Puz.l
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
ДАТЧИК КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ОСАДКА | 2016 |
|
RU2624657C1 |
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ОСАДКА | 2016 |
|
RU2624589C1 |
ДАТЧИК КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ | 2016 |
|
RU2624660C1 |
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ | 2016 |
|
RU2652156C2 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫОСАДКА | 1972 |
|
SU427228A1 |
Способ определения толщины тонкой диэлектрической пленки нанометровой толщины, нанесенной на металлическую подложку | 2021 |
|
RU2831587C2 |
ЕМКОСТНОЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ | 2003 |
|
RU2251087C2 |
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ АБСОЛЮТНОЙ ВЛАЖНОСТИ МАТЕРИАЛОВ | 2019 |
|
RU2732477C1 |
ЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК ДЛЯ КОНТРОЛЯ тонких ПЛЕНОК | 1971 |
|
SU292120A1 |
ДАТЧИК ВЛАЖНОСТИ ГАЗОВ | 2023 |
|
RU2826793C1 |
Авторы
Даты
1971-01-01—Публикация