ДАТЧИК ДЛЯ КОНТРОЛЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ Советский патент 1971 года по МПК G01R27/02 

Известен датчик для контроля удельного сопротивления пленочных резисторов в процессе их изготовления методом вакуумного испарения, выполненный в виде резистора-свидетеля с контактными площадками, соединенными с измерительной схемой прижимными контактами.

Цель изобретения - повышение точности измерения удельного сопротивления пленочных резисторов.

Для этого резистор- свидетель связан с измерительной схемой катушкой индуктивности колебательного контура, расположенной внутри цилиндра из изоляционного материала. На наружной поверхности цилиндра нанесен незамкнутый вдоль образующей слой электропроводящего материала, на изоляционной поверхности которого напылен резистор-свидетель. Контактные площадки последнего размещены на поверхности электропроводящего слоя.

На фиг. 1 изображен описываемый датчик; на фиг. 2 - разрез по А-Л на фиг. 1.

Датчик представляет собой цилиндр / из изоляционного материала, покрытый слоем электропроводящего материала малого сопротивления так, что вдоль образующей цилиндра на внешней поверхности датчика имеется свободное от покрытия пространство в виде щели 2, непосредственно возле которой

расположен трафарет 3. Электропроводящий материал образует виток связи 4. Внутри цилиндра / находится катушка индуктивности 5 колебательного контура. Прямоугольное отверстие трафарета 3 расположено относительно щели 2 так, что испаряемое (напыляемое) вещество осаждается на внешней поверхности цилиндра в виде поперечной полоски, образуя резистор-свидетель 6, соединенный с датчиком через контактные площадки 7.

Датчик устанавливается в подколпачном пространстве в районе напыляемых резисторов. Испаряемое (напыляемое) резистивное

вещество попадает через отверстие трафарета 3 на виток связи 4, замыкая щель 2. По мере напыления сопротивление резисторасвидетеля 6, замыкающего щель 2, уменьшается. За счет взаимной связи катушки индуктивности 5 и витка связи 4, охватывающего ее, добротность колебательного контура уменьщается. Катушка индуктивности 5 подключается к измерительному устройству, которое контролирует добротность колебательного контура, а она зависит от величины сопротивления резистора-свидетеля. Следовательно, величина добротности является мерой сопротивления или (при известных геометрических размерах резистора-свидетеля) мерой

Предмет изобретения

Датчик для контроля удельного сопротивления пленочных резисторов в процессе их изготовления методом вакуумного испарения, содержащий резистор-свидетель с контактными площадками, соединенными с измерительной схемой, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения удельного сопротивления пленочных резисторов, связь упомянутого резистора-свидетеля с измерительной схемой осуществлена посредством катушки индуктивности колебательного контура, расположенной внутри цилиндра, выполненного из изоляционного материала, на наружной поверхности которого нанесен незамкнутый вдоль образующей слой электропроводящего материала, а на изоляционной поверхности последнего напылен резисторсвидетель, контактные площадки которого размещены на поверхности упомянутого электропроводящего слоя.