КАЛОРИМЕТРИЧЕСКИЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫПЛЕНКИ Советский патент 1971 года по МПК G01B15/02 

Изобретение касается измерения толщин пленок, наносимых на какой-либо материал.

Известны калориметрические способы измерения толщины пленки в пакете с использованием потока тепловой энергии, заключающийся в том, что пленки в пакете прокладывают термочувствительными элементами, например резисторами, и регистрируют сигнал термочувствительного элемента, по которому судят о толщине пленки.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что с целью контроля толщины напыляемых одна на другую пленок контролируемую пленку напыляют на слой напыленного термочувствительного элемента, облучают ее и регистрируют сигнал термочувствительного элемента, по которому судят о толщине данной пленки, а затем напыляют на нее следующий термочувствительный элемент, аналогично контролируя следующую пленку.

Предлагаемый способ поясняется чертежом.

Иа подложку /, предназначенную для несения пленки 2, наносят напылением термочувствительный элемент 3, (например, резистивный), который подсоединяют электрически к показывающему прибору или индикатору (на чертеже не показан).

На термочувствительный элемент наносят напылением диэлектрическое покрытие 4, обязательное, если контролируемая пленка электропроводна. При этом толщина диэлектрического покрытия должна быть такой, чтобы ее теплоемкость была возможно меньще теплоемкости наносимого слоя.

Затем наносят напылением пленку 2. После этого получают пакет импульсным источНИКОМ 5 инфракрасного излучения, регистрируя реакцию термочувствительного элемента, по которой судят о толщине пленки 2. На этом заканчивается контроль толщины пленки.

При необходимости проконтролировать несколько слоев напыляемых одна на другую пленок, операции, аналогичные описанным, производят последовательно по мере напыления каждого слоя, т. е. основой для напыления термочувствительного элемента на каждом этапе напыления очередной пленки слул ит уже напыленный пакет.

Предмет изобретения

25

Калориметрический способ измерения толщины пленки в пакете с использованием потока тепловой энергии, заключающийся в том, что пленки в пакете прокладывают термочувствительными элементами, например

резисторами, и регистрируют сигнал термочувствительного элемента, по которому судят о толщине пленки, отличающийся тем, что, с целью контроля толщины напыляемых одна на другую пленок, контролируемую пленку напыляют на слой напыленного термочувствительного элемента, облучают её и реги стрируют сигнал термочувствительного элемента, по которому судят о толщине данной пленки, а затем напыляют на нее следующий термочувствительный элемеЕ1т, аналогично контролируя следующую пленку.

IgK

lUl

2 4

//

Г

JV

-о