ВСЕСОЮЗНАЯ МШШ4?Х;-;^'^Г-ШБ'ТИсг';--"^ Советский патент 1971 года по МПК H01L27/00 H01L21/02 

Изобретение относится к области электрбтехнической промышленности и может быть применено для нанесения электродов на полупроводники, представляющие собой окислы металлов.

Известен .способ нанесения токопроводящих слоев на полупроводники, заключающийся в проведении единичного электрического разряда с целью вж-игания материала электрода. Этим способом можно получать только точечные электрические .контакты.

Цель изобретения состоит в получении электрических контактов любой формы.

Для этого, согласно предложенному способу, на поверхности окисла металла устанавливают два электрода на близком расстоянии один от другого. К электродам подают напряжение, и перемещают один из электродов по поверхности окисла под защитным слоем жидкости. В процессе непрерывного электрического разряда происходит восстановление металЛа из окисла. Форма получающегося металлического слоя соответствует траектории перемещения электрода.

Описанным способом были получены медные покрытия на закиси меди при постоянном напряжении 300 в, источником питания служил конотронный выпрямитель на лампе 5Ц4С.

Предмет изобретения

Способ нанесения токопроводящих металлических слоев на окислах металлов в зоне электрического разряда постоянного и переменного токов путем установления на поверхности окисла металла двух электродов, к .которьш приложено напряжение, отличающийся тем, что, с целью получения электрического контакта любой произвольной формы, один из

электродов перемещают по поверхности окисла под защитным слоем жидкости.