ТРАВИЛЬНЫЙ РАСТВОР^';>&"--л:;'::-:гч-] .i;l!:f;::;.2I:;::i j Советский патент 1972 года по МПК C03C15/00 

Изобретение касается состава травильных ванн для стекла и относится к области полупроводникового производства. Известен травильный раствор для стекла, включающий плавиковую и серную кислоту. Целью изобретения является повышение эффективности действия травителя. Достигается это тем, что в него введен 1,5дифенилтиокарбазон, при этом компоненты взяты в следующем соотношении, вес. /о: HF (42а/о-ный раствор) 15-18 H2SO4 (88%-11ый раствор)15-18 1,5-дифенилтиокар0,0015-0,0035 базон Вода 63,9-69,9 Раствор приготавливают следующим образом: порошок 1,5-дифенилтиокарбазона растворяют в серной кислоте, затем смешивают с 20 плавиковой кислотой, хорошо перемешивают и выливают в воду. сл . ст вк чт ст ии ко Наиболее оптимальный состав травителя едующий, %: HF (42%-ная) НгЗО., (88%-ная) 1,5-дифенилтнокарбазон 0,0022 Вода остальное Время снятия боросиликатного стекла соавляет 15-30 сек. Предмет изобретения Травильный раствор для обработки стекла, лючающий HF и H2SOi, отличающийся тем, о, с целью повышения эффективности дейвия, он дополнительно содержит 1,5-дифелтиокарбазон при следующем соотношении мпонентов, вес. о/о: ПР (420/о-ный раствор) 15-18 H2SO4 (88%-ный раствор)15-18 1,5-дифенилтиокарбазон0,0015-0,0035 Вода63,9-69,9