МНОГОСТУПЕНЧАТЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМ-НАСОС Советский патент 1972 года по МПК F04D19/04 

В известных многоступенчатых Молекулярных вакуум-насосах, содержащих цилиндрический корпус и расположенные в нем в чередуюа1емся порядке роторные и статорные цилиндрические элементы с винтовыми пазами, образующие систему последовательно соединенных коаксиальных рабочих каналов, имеют место недостаточно высокие степень сжатия и скорость откачки.

В предлагаемом вакуум-насосе повышение степени и увеличение скорости откачки достигается тем, что винтовые пазы размещепы на охватываемой поверхпости одного из нары сопряженных элементов, например роторном, а охватывающая цилиндрическая поверхность сопряженного (статорного) элемента вынолнена гладкой. Так, в нервой ступени винтовые пазы выполнены на роторном элементе, во второй - на статорном, в третьей - на роторном и т. д.

На чертеже представлена схема вакуум-насоса.

Б корпусе / расноложены роторные 2 и статорные 3 цилиндрические элемеиты с винтовыми пазами, размещенными только иа охватываемых поверхностях, в то время как охватывающие поверхности выполнены гладкими. В первой ступени пазы выполнены на роторном элементе; во второй - на статорном, в третьей - на роторном. Газ при вращении ротора засасывается через патрубок 4 ипоследовательно проходит по коаксиальным каналам к выходу.

Система с винтовыми пазами на охватываемых поверхностях по сравнению с насосами, в которых винтовые пазы выполнены на охватывающих поверхностях, обладает большей вероятностью 2i2 прохода молекул от входа насоса к выходу и меньшей вероятиостью S21 прохода молекул во встречном направлении, а также мепьшпм падением характеристикн Si2 и большим падением характеристики 221 по длине рабочих каналов. Этот эффект при цилиндрических взаимодействующих рабочих поверхностях обусловлен налпчнем некоторого градиента концентрации соударений молекул с поверхностями винтовых каналов в нанравлении от центра к периферии и проявляется тем больше, чем больше

отношение высоты винтового паза к впутрепнему диаметру корпуса.

Предмет изобретения

1. Миогоступеичатый молекулярный вакуум-насос, содержащий циллидрический корпус и расположенные в нем в чередующемся порядке роторные и статориые цилиндрические элементы с винтовыми иазами, образуюкоаксиальных рабочих каналов, отличающийся тем, что, с целью повышения степени сжатия и увеличения скорости откачки, винтовые пазы размещены на охватываемой поверхности одного из пары сопряженных элементов, например роторном, а охватывающая цилиндрическая поверхность сопряженного (статорного) элемента выполнена гладкой.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что в первой ступени винтовые пазы выполнены на роторном элементе, во второй - на статорном, в третьей - на роторном и т. д.

L,