(54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
МНОГОСТУПЕНЧАТЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМ-НАСОС | 1972 |
|
SU325413A1 |
ПАТЕНТНО-ТЕХННЧЕОНАЯ• 'БИБЛИОТЕКА | 1972 |
|
SU338684A1 |
ДВУХПОТОЧНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС С ГИБРИДНЫМИ ПРОТОЧНЫМИ ЧАСТЯМИ | 2014 |
|
RU2543917C1 |
ЕСЕССЯ-ОЗНАЯПАТЕНТНОчЕХКлНЕСКАЙБИБЛИОТЕКА | 1971 |
|
SU291051A1 |
ОДНОПОТОЧНЫЙ ЧЕТЫРЕХСТУПЕНЧАТЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС | 2014 |
|
RU2560133C1 |
МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС | 1998 |
|
RU2168070C2 |
Молекулярный вакуумный насос | 1983 |
|
SU1155027A1 |
Турбомолекулярный вакуумный насос | 1990 |
|
SU1807242A1 |
ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС С ОДНОПОТОЧНОЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОЙ ПРОТОЧНОЙ ЧАСТЬЮ | 2012 |
|
RU2490519C1 |
Молекулярный вакуумный насос | 1990 |
|
SU1781463A1 |
1
Изобретение относится к вакуумной технике.
Известен молекулярный насос, содержащий статор и ротор с винтовыми пазами, число которых увеличивается от входа к
выходу насоса LlJИзвестный насос не обеспечивает доста точно высокой степени сжатия.
Наиболее близким из известных техни.ческих решений является молекулярный насое, содержащий статор с гладкой цилиндрической поверхностью и ротор с винтовыми Пазами, образующими систему рабочих кана.. лов r2j.
Однако и этот насос не позволяет полу-, чить высокую степень сжатия газа иэ-за большой вероятности пролета молекул откачиваемого газа от входа к выходу насоса.
Целью изобретения является повышение степени сжатия.
Эта цель достигается тем, что сопряженные поверхности ротора и статора выполнены ступенчатыми, и максимальный диаметр каждой предыдущей ступени статора не превышает минимального диаметра последующей ступени ротора, при этом ступени в направлении откачки выполнены с уменьшающейся длиной.
На чертеже схематично изображен предлагаемый насос.
Молекулярный вакуумный насос содержи статор 1 с гладкой цилиндрической поверхностно и ротор 2 с винтовыми пазами 3, образующими систему рабочих каналов. Сопряженные поверхности ротора 2 и статора 1 выполнены ступенчатыми, и максимальный диаметр D каждой предыдущей ступени статора 1 не превьппает минимального диаметра 15 последующей ступени ротора 2, вследствие чего на статоре образуются торцовые площадки 4, при этом ступени в направлении откачки выполнены с уменьшающейся длиной.
Таким образом, при работе насоса торцовые площадки 4 препятствуют пролету молекул, двигающихся от выхода к входу насоса, и наибольший пролет молекул по зазору в указанном направлении не превы-
,шает шага ступеней, вследствие чего повышается степень сжатия насоса.
Формула изобретения
ступенчатыми, и максимальный диаметр каждой предыдушей ступени статора не превышает минимального диаметра последующей ступени ротора.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:
Авторы
Даты
1977-01-05—Публикация
1975-01-03—Подача