Изобретение относится к технике получения вакуума.
Известны молекулярные вакуумные насосы, содержащие корпус и расположенные в его проточной части диски с лопатками по периферии.
Цель изобретеиия - повышение степени сжатия и упрощение конструкции.
Это достигается тем, что лопатки выполнепы радиальными и в проточной части па степке корпуса укреплены перегородки, имеющие с лопатками минимальный радиальный зазор и образующие с диском рабочие камеры для последовательного направления откачиваемого газа из полости всасывания в полость нагнетания, между которыми установлен отсекатель.
Для предотвращения обратного перетока газа перегородки имеют ширину, большую шага лопаток, а для уменьшения перетечек из полости нагнетания в полость всасывапия в отсекателе выполнено отверстие, подключенное с помощью перепускной трубы к одной из рабочих камер, например смежной с полостью всасывания.
На фиг. изображен одноступенчатый насос, продольный разрез; на фиг. 2 -пасос, поперечный разрез.
лопатками 5, рабочпе камеры 4, отделенные одна от другой нерегородками 5, всасывающие 6 и нагнетательные 7 окна и перепускную трубу 8:
При работе молекулярного насоса молекулы через окно 6 попадают в первую рабочую камеру, где часть из них получает от лопаток диска импульс в сторону вращения колеса и переносится в следующую камеру с более высоким давлением. Там одна часть молекул захватывается лопатками и получает импульс в сторону вращения колеса, а другая часть перенесенных молекул остается в этой камере. Молекулы, нолучивщие импульс в сторону вращения колеса и захваченные лопатками, переносятся в следующую камеру с большим давлением. Этот процесс продолжается до тех пор, пока молекулы, захваченные лонаткамп, будут перенесены в камеру, сообщающуюся с нагнетательным о-кпом 7. Из него молекулы переходят в следующую ступень или поступают в пагнетательный патрубок 9. Обратное перетекание откачиваемого газа
ограничивается радиальным зазором между лопатками и перегородками, ширина которых больше шага лопаток. Между всасывающим и нагнетательным окнами установлен отсекатёль 10 с отверстием 11, подключенным с понапример смежной с полостью всасывания, для перепуска газа. Предмет изобретения I. Молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и расположенные в его проточной части диски с лопатками по периферии, отличающийся тем, что, с целью повышения степени сжатия и упрощения конструкции, лопатки выполнены радиальными и проточной части на стенке корпуса укреплены перегородки, имеющие с лопатками минимальный радиальный зазор и образующие с диском рабочие камеры для последовательновго направления откачиваемого газа из полости всасывания в полость нагнетания, между которыми установлен отсекатель. 2.Насос по п. 1, отличающийся тем, что, с целью предотвращения обратного перетока газа, перегородки имеют ширину, большую шага лопаток. 3.Насос по п. 1, отличающийся тем, что, с целью уменьшения переточек из полости нагнетания в полость всасывания, в отсекателе выполнено отверстие, подключенное с помощью перепускной трубы к одной из рабочих камер, например смежной с полостью всасывания.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС | 1971 |
|
SU296910A1 |
ПАТЕ..- С- -...;Ч?СШбиблиотека МБА | 1970 |
|
SU280743A1 |
ВИХРЕВАЯ МАШИНА | 1971 |
|
SU312966A1 |
МЕХАНИЧЕСКИЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС | 1968 |
|
SU211007A1 |
ВИХРЕВАЯ МАШИНА | 1973 |
|
SU378657A1 |
ЖИДКОСТНОКОЛЬЦЕВОЙ ВАКУУМ-НАСОС | 1969 |
|
SU248142A1 |
ВИХРЕВОЙ КОМПРЕССОР | 1972 |
|
SU436174A1 |
ВИХРЕВОЙ КОМПРЕССОР | 1992 |
|
RU2032836C1 |
СТУПЕНЬ МОЛЕКУЛЯРНОГО НАСОСА | 1991 |
|
RU2016256C1 |
Вакуумный молекулярный насос | 1991 |
|
SU1810604A1 |
Даты
1972-01-01—Публикация