УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЮСТИРОВКИ ПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ Советский патент 1972 года по МПК H01C17/16 H01C17/00 

Изобретеиие относится к радиотехнике, в частности к технологии изготовления микросхем.

Известна полуавтоматическая установка для подгонки величины сопротивления резисторов. Эта установка имеет большие габариты и отличается сложностью изготовления.

Целью изобретения является обеспечение контроля юстировки в рабочем режиме, а также автоматизации процесса изготовления микросхем. Для этого одна из игл-электродов имеет сферическое закрепление на конце.

На чертеже схематически изображено предложенное устройство для юстировки пленочных резисторов.

Устройство для юстировки пленочных резисторов состоит из электроискрового генератора /, эталонного магазина сопротивлений 2, блска 3 -контроля и управления процессом юстировки, контактирующих элементов 4, иглэлектродов 5 и 6, держателей 7 игл-электро дов, координатного стола 8, держателей 9 контактирующих элементов 4, подложки 10 микросхемы с юстируемым лленочным резистором И, контактных площадок 12 юстируемого резистора, микроскопа 13 и тумблера включения 14.

тов (не показанных на чертеже) может передвигаться относительио игл-электродов 5мб по двум взаимно перпендикулярным направлениям с точностью±10 мкм. Юстируемый резистор подключают через контактные площадки 12 посредством контактирующих элементов 4 к блоку 3 контроля и управления. На эталонном магазине сопротивлений 2 устанавливают требуемую сопротивлеПИЯ юстируемого резистора. Включают тумблер 14 и, перемещая резистор 11 относительно игл-электродов 5 и 6 удаляют с резистора часть илеики, тем самым повыщая величииу его сопротивления. По достижении равеиства

сопротивлений юстируемого резистора 11 и эталоиного магазитш сопротивлений 2 блок 3 контроля и управления разрывает цепь п 1танпя иглы-электрода 6, прекращая тем самым процесс удаления пленки резистора, независиМО от того, прекратилось ли движеиие иглэлектродов по пленке резистора ли иет. Таким образом, обеспечивается высокая точиость (десятые доли процента) юстировки резисторов, не зависящая от оиератора.

25

В качестве источника иаиряжеиия может быть использован любой электроискровой генератор, в частности простейщий RC-renepaтор, состоящий из балластного сопротивления и накопительного конденсатора. Нглы-электроды 5, 6 изготовлены из тугоплавкого металла, например, вольфрама. Одна из игл выполнена со сферическим полированным закруглением на конце для осундествлепля перазрушающего контакта с резнстивным слоем. Другая игла имеет заостренный конец и выполняет функции режущего электрода. Амплитуду имнульса источника напряжения и расстояние между электродами устанавливают в зависимости от материала и удельного новер.хностиого сопротивлеиия пленки юстируемого резистора. Блок 3 контроля и управления (схема которого не показана на чертеже) представляет собой автоматический мост переменного тока с нуль-органом, па выходе которого включепо исполнительное реле, разрывающее цепь ннтання электродов по достижении равенства эталонного и юстируемого резисторов.

4 Предмет изобретения

Устройство для юстировки пленочных резисторов, содержащее в качестве рабочего инструмента подключенные к источнику напряжения, например электроискровому генератору, две иглы-электроды, блок контроля величины сопротивления резисторов в процессе юстировки и управления процессом, эталониый магаЗИН сопротивлений и контактирующие элементы, отличающееся тем, что, с целью обеснечения контроля юстировки в рабочем режиме и автоматизации процесса, одна из иглэлектродов выполнена со сферическим закруглением на конце и предпазначена для неразругиающегося контакта с пленкой юстпруемого резистора, причем зазор между коицамн пгл регулируется.