Устройство для индивидуальной подгонки тонкопленочных резисторов Советский патент 1982 года по МПК H01C17/00 

электродов с выходами блока контрол и управления подгонкой. На чертеже изображена блок-схема устройства. Устройство содержит блок 1 питания игл-электродов 2 и 3, установленных в блоке 4 автоматического вертикального перемещения игл-элект родов, микрометрический столик 5, контактные элементы 6, блок 7 контроля и управления подгонкой, соединенный с магазином 8 эталонных сопр .тивлений и блоком 9 сравнения и выб ра направления ведения подгонки, электроискровая цепь снабжена тумбл ром 10, для визуального контроля ра положения игл-электродов применен микроскоп 11. Устройство работает следующим об разом. Микросхему 12 с подгоняемым резистором 13 устанавливают на микрометрическом столике 5, имеющем продольно-поперечное перемещение, и над ней располагают две иглы-электроды 2 и 3 под некоторым углом друг к другу, включенные в цепь блока 1 питания. Подключают блок 7 контроля и управления подгонкой к контактным площадкам 14 подгоняемого резистора 13 посредством контактных элементов На магазине 8 эталонных сопротивлений устанавливают требуемую величину сопротивления эталонного резисто ра. Затем на блок 9 сравнения и Btii6opa направления ведения подгонки подают два сигнала - один с магазина 8 эталонных сопротивлений другой с блока 7 контроля и управления подгонкой. На основании сравнения этих двух сигналов блок 9 сравнения и выбора направления ведения подгонки вырабатывает один из двух сигналов рассогласования, первый из кото рых соответствует тому, что подгоняемый резистор 13 меньше эталонного, второй тому, что подгоняемый резистор 13 больше эталонного. В случае, если с блока 9 сравнения и выбора направления ведения подгонки на блок 4 автоматического вертикального перемещения игл-электродов поступает сигнал первого типа, блок 4 вертикал ного перемещения опустит электроды до соприкосновения одного из них с поверхностью подгоняемого резистора 13, и, при замыкании тумблера 10 ,между рабочим электродом и поверхностью подгоняемого резистора 13 произойдет электроискоровый разряд,при котором удаляется часть резис орной пленки и тем самым сопротивление подгоняемого резистора 13 повышается. Одновременно с процессом подгонки ведется непрерывный контроль сопротивления подгоняемого резистора 13 блоком 7 контроля и управления процессом подгонки и по достижению равенства сопротивления с эталонным этот блок .срабатывает и разрывает цепь электроискрового разряда, прекращая процесс подгонки. На выходе блока 7 контроля и управления процессом подгонки включено исполнительное реле (не показано), разрывающее цепь питания электродов. Если же с блока 9 сравнения и выбора направления веде ия подгонки на блок 4 вертикального перемещения игл-электродов поступит сигнал второго типа, блок 4 вертикального перемещения поднимет иглыэлектроды вертикально вверх и установит их над подгоняемым резистором 13 на расстоянии действия факела распыляемого электрода. При включении тумблера 10 между электродами произойдет электроискровой разряд с сопутствующим ему факелом распыляемого материала электрода и, при перемещении микросхемы 12 относительно иглэлектродов 2 и 3 в горизонтальной плоскости, на поверхности резистивной пленки образуется электропроводящий слой, шунтирующий отдельные участки поверхности резистивной пленки и тем саь1ым уменьшающий номинал резистора. Аналогично предыдущему, в процессе подгонки блоком 7 контроля и управления процессом подгонки ведется контроль подгоняемого резистора 13 и п.о достижении равенства сопротивления подгоняемого резистора с эталонным блок 7 контроля и управления процессом подгонки срабатывает и разрывает цепь электроискрового разряда, прекращая процесс подгонки данного резистора, затем контактные элементы 6 устанавливают на контактные площадки 14 следующего резистора микросхемы 12, и блок 9 сравнения и выбора направления ведения подгонки на основании сравнения сопротивлений эталонного и подгоняемого резисторов вновь вырабатывает либо сигнал на опускание игл-электродов, либо на их подъем. Таким образом, при разовой установке подгоняемого резистора, на одном и том же оборудовании можно подгонять тонкопленочный резистор как в сторону увеличения, так и уменьшения. Это обеспечивает экономическую эффективность предлагаемого устройства. Формула изобретения устройство для индивидуальной подгонки тонкопленочных резисторов, содержащее координатный столик с контактными зондами, иглы-электроды, блок питания игл-электродов, блок контроля и. управления подгонкой, выходы которого через блок питания соединены с иглами-электродами, магазин эталонных сопротивлений, соединенный выходами с блоком контроля и у.правления подгонкой, отличающеес я тем, что, с целью снижения трудоемкости подгонки и расширения функциональных возможностей, в него введены блок сравнения и выбора направления ведения подгонки и блок автоматического вертикального перемещения игл-электродов, причем первые входы блока сравнения и выбора направления ведения подгонки соединен с магазином эталонных сопротивлений .

вторые входам - с контактными зондами, а выход - с первым входом блока автоматического вертикального перемещения игл-электродов, вторые входы которого соединены через блок питания игл-электродов с выходами блока контроля и управления подгонкой. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР

338923, кл. Н 01 С 17/24, 10.04.70.

2.Авторское свидетельство СССР

326645, кл. Н 01 С 17/24,03.01.69 (прототип).