ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ РЕЛЕ Советский патент 1972 года по МПК H01H61/00 

Известны электростатические :реле, содержащие подвижную пластину и гибкую мембрану.

Однако такие реле имеют недостатки, обусловленные плоской формой мембраны.

Основной параметр реле - напряжение

UcT), зависит от натяжения мемсраоатывания

ср браны

f/cp-/- -/ -f/,

%() У о А - «1 - йа

а - натяжение мембраны;

где ЕО - диэлектрическая проницаемость;d - зазор между мембраной и

тянущими электродами; /г - толщина мембраны; L - длина мембраны; L-ai-а - ширина тянущих электродов. Натяжение мембраны определяется разностью коэффициентов линейного расширения материала подложки и мембраны.

(ап - ам), где ап - коэффициент линейного расширения

подложки; KM - коэффициент линейного расширения

мембраны;

Вследствие того, что к материалу мембраны нредъявляются многне требования (к контактным, механическим свойствам, но селективности травления с материалом буфера, а также сценленню с подложкой) выбор их ограничен.

Выбор подложек по коэффнциенту температурного расширения также ограничен. Это значительно затрудняет обеспечение низкого напряжения срабатывания.

В известных электростатических реле напряжение срабатывания зависит от температуры.

С целью снижения напряжения срабатывания и расширения темнературного диапазона работы реле, в предлагаемом реле иснользована мембрана с нружиной, роль которой вынолняют гофры пленки мембраны.

Схема

устройства представлена на чертен е.

Оно содержит мембрану /, пружину (гофр) 2, тянущий электрод 3, контакт 4, днэлектрнк 5 и подложку 6.

Гофры могут быть изготовлены напылением мембраны на сложный рельеф буферного слоя.

Такая конструкция реле нозволяет расширить выбор материалов мембраны, применяемых с заранее выбранным материалом подложки, и наоборот.

Предмет изобретения

Электростатическое реле но авт. св.

№ 204440, отличающееся тем, что, с целью

уменьшения напряжения срабатывания реле,

недвижная мембрана вынолнена частично

гофрированной.

ff 3