СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОСТАВА ОСТАТОЧНЫХ ГАЗОВ В ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВЫХ ПРИБОРАХ Советский патент 1972 года по МПК B01D59/44 

Изобретение относится к электровакуумной нромышленности.

Известен способ определения состава остаточных газов в электроннолучевых приборах, основанный на импульсной ионизации газа электронным пучком и разделении его по массам по времени пролета ионов в пространстве дрейфа, при котором к электровакуумному прибору подсоединяют масс-спектрометрический датчик статического или динамического типа. Для анализа остаточного газа в цветном кинескопе используют статический магнитный масс-спектрометр. При этом прожектор кинескопа модифицируют введением источника ионов, а камеру масс-анализатора приваривают к горловине трубки.

Цель .изобретения - разработка такого способа определения состава остаточных газов в электроннолучевых приборах, который позволил бы выполнять анализ в готовых приборах, например кинескопах, без их разрушения.

Согласно изобретению, поставленная цель достигается следующим образом: остаточный газ ионизируют и разделяют по массам в самом приборе подачей на ускоряющий электрод положительного по отношению к катоду напряжения 100-200 в, а последующий электрод используют в качестве вытягивающего подачей на него отрицательного по отношению к ускоряющему электроду напряжения,

по абсолютной величине в два или более раз превышающего напряжение на ускоряющем электроде. Пространством дрейфа служит пространство между электронно-оптической

системой и экраном, который используют в качестве коллектора ионов. Если анал.изируемым прибором является цветной кинескоп, чувствительность предлагаемого способа повышается благодаря использованию особенностей его конструкции: сетку или маску снабжают отдельным выводом и используют в качестве коллектора, причем на этот вывод подают дополнительно отрицательный по отношению к аноду потенциал 20-100 в.

Способ поясняется на примере черно-белого кинескопа с помощью прилагаемой схемы.

Электроны, эмиттируемые катодом /, в пространстве между модулятором 2 и ускоряющим электродом 3 ионизируют молекулы остаточного газа. Напряжение ионизации находится в пределах 100-200 в, и постоянное напряжение на модуляторе составляет О-100 0 по отношению к катоду. Образовавшиеся оны вытягиваются с помощью отрлнательного потенциала 200 в и более по отношению к катоду, приложенного к последующему электроду 4. Пакет ионов, проходя пространство дрейфа, за счет разного времени пролета разделяется по массам и достигает

странством дрейфа служит расстояние между электродом 3 и экраном 5. С вывода 6 коллектора разделенные по времени импульсы снимаются на измерительную схему.

Предмет изобретения

1. Способ определения состава остаточных газов в электроннолучевых пр.иборах путем импульсной ионизации газа, разделения его по массам по времени пролета в пространстве дрейфа и определения снектра масс, отличающийся тем, что, с целью выполнения анализа в готовых приборах без их разрушения, ионизацию и разделение остаточного газа по массам осуществляют в приборе посредством подачи на ускоряющий электрод положительного по отношению к катоду потенциала, а на последующий вытягивающий электрод подают

отрицательный по отношению к ускоряющему электроду потенциал, при этом состав остаточного газа определяют по импульсным сигналам, снимаемым с коллектора.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в черно-белых кинескопах на вытягивающий электрод подают потенциал, при котором разность потенциалов между ускоряющим и вытягивающим электродами по абсолютной величине по крайней мере в два раза превышает разность потенциалов между ускоряющим электродом и катодом, а сигнал снимают с экрана, находящегося под потенциалом вытягивающего электрода.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в цветных кинескопах сигнал снимают с сетки или маски кинескопа, на которую подают дополнительный отрицательный по отношению к аноду потенциал 20-100 в.

-200--6008

WO-200.8 Hi О--1008