ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛОСКИХ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ Советский патент 1972 года по МПК G01B9/02 

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники, в частности к области контроля качества плоских оптических поверхностей, и может найти применение в олтико-механиЧеской промышленности.

Известен интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей, содержащий осветительную и наблюдательную системы, установленные под углом друг к другу и снаблсенные плоским светоделителем и плоским зеркалом каждая.

В известном интерферометре контролируемая и эталонная поверхности, находятся на значительном расстоянии друг от друга, что затрудняет возможность сохранения неизменной интерференционной картины в процессе измерений.

С целью повышения стабильности интерференционной картины в предлагаемОМ интерферометре для контроля качества .плоских оптических поверхностей угол между оптической осью осветительной системы и контролируемой плоскостью выполнен отличным от угла между оптической осью наблюдательной системы и контролируемой плоскостью, а зеркала и светоделители установлены таким образом, что обеспечивают одинаковую длину хода лучей в интерферирующих пучках, например, зеркало и светоделитель в наблюдательной системе наклонены к оптической оси под теми

же углами, что и зеркало и светоделитель в осветительной системе, и расположены на одинаковых расстояниях от точки пересечения оптических осей на.блюдательной и осветительной систем с контролируемой поверхностью. Оба интерферирующих пучка лучей отрал аются от контролируемой поверхности, благодаря чему не большие смещения контролируемой детали значительно меньше влияют на

интерференционную картину, чем в известных интерферометрах.

На чертеже показана схема предлагаемого интерферометра. Интерферометр включает осветительную систему / и наблюдательную систему 2. В осветительную систему входят источник 3 излучения, конденсор 4, диафрагма 5, объектив 6, светоделитель 7 и зеркало- 8. Наблюдательная система включает зеркало 9 светоделитель 10,

объектив 11 и диафрагму 12.

Оптическая ось осветительной системы и оптическая наблюдательность системы составляет различные углы с контролируемой плоскостью 13.

Предлагаемый интерферометр работает следующим Образом.

диафрагмой 12. Если контролируемая поверхность не является абсолютно плоской, а имеет вид, например, сферы с большим радиусом, то для получения истинного отстушления контролируемой поверхности от плоскости измеренную величину искривления полос равной толщины нужно умножить на дробь:

cos /1 cos /2(cos ii - cos /2)

Предлагаемый интерферометр может применяться для контроля плоскостей большого размера. Световые диам.етры Объективов осветительной и наблюдательной систем могут быть в несколько раз меньше, чем размер KOIIтролируемой плоскости, так как оба интерферируюших пучка отражаются от контролируемой плоскости, то интерферометр позволяет контролировать поверхности с лЮбым коэффициентом отражения.

Предмет изобретения

Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей, содержа5 ш,ий осветительную и наблюдательную системы, установленные под углом друг к другу и снабженные ллоским светоделителем и плоским зеркалом каждая, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности интерференционной картины, угол между оптической осью осветительной системы и контролируемой плоскостью выполнен отличным от угла между оптической осью наблюдательной системы и контролируемой плоскостью, а зеркала и светоделители установлены таким Образом, что обеспечивают одинаковую длину хода лучей в интерферируюш,их пучках, например, зеркало и светоделитель в наблюдательной системе наклонены к оптической оси оод теми

0 же углами, что зеркало и светоделитель в осветительной системе, и расположены на одинаковых расстояниях от точки пересечения оптических осей наблюдательной и осветительной систем с контролируемой поверхностью.