ДВУХЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПОВЕРХНОСТЕЙ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ И АБЕРРАЦИЙ Советский патент 1973 года по МПК G01B9/02 

1

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть иснользовано, в частности, для контроля полированных поверхностей в оптическом производстве, а также для контроля аберраций объективов и других оптических систем.

Известен двухлучевой интерферометр, например интерферометр Цендера-Маха, содержащий осветительное и наблюдательное устройства и систему из плоских зеркал и светоделителей, имеюн ую две ветви.

Предлагаемый интерферометр отличается от известного тем, что с целью повышения точности контроля он снабжен оборачиваюн 1,ей систе; юй, например, в виде трех плоских зеркал, установленной в одной из ветвей с возможностью поворота относительно оптической оси интерферометра.

В предлагаемом иитерферометре отступления поверхности от заданной формы, обладающие осевой симметрией, не вызывают искривления наблюдаемых в поле зрения интерферометра полос равной толщины, в то время как в известных интерферометрах местные ошибки наблюдаются на фоне общих, допуск на которые, как правило, в 5-10 раз больше, чем допуск на местные ошибки. Это приводит к тому, что местные ошибки не могут быть измерены с достаточно высокой точностью. В предлагаемом интерферометре наблюдаются

2

только местные ошибки. ошибки не вызывают искривления полос равной ;:, следовательно, не ограннчивают точности измерения местных ошибок.

На чертеже приведена схема иредлагаемого интерферогаетра для случая контроля плоских поверхностей.

Интерферо}.етр содержит осветительное устройство, включающее источник 1 излучения, конденсор 2 н диафрагму 3; объектив 4, в фокальной плоскости которого паходится диафрагма 3; систему нз светоделителей 5, 6 н зеркал 7, 8; оборачиваюигую систему из трех плоских зеркал 9, 10 и //, вынолг1енную новоротной относительно оптической оси О-Oi интерферометра. Картина интерференции двух пучков, отражен1;ых от контрол 1руемой поверхности 12, рассматрпвается наблюдательным устройством (например, глазом), помещенным за диафрагмой 13, раеположепной в фокальной плоскостн объектива 14. Одна из ветвей в интерферометре образоваиа светоде- лителем 5, зеркалом 7 и светоделителем 6, а другая - светоделителем 5, зеркалом 8 и светоделителем 6.

Контроль вогнутых сферических иозерхностей осуществляется без объективов 4 и 14. Контролнруемая поверхность устанавливается таким образом, что пзображение центра сферы совнадает с диафрагмами 3 и 13.

При контроле аберраций проверяемый объектив устанавливается между светоделителем 6 н новерхностыо 12, которой может служить, например, эталонное плоское зеркало.

Контроль местных ошибок поверхностей и аберраций объективов с помощью предлагаемого интерферрометра осуществляется по величине искривления полос равной толщины. Поворот оборачивающей системы относительно оси О-Oi разворачивает один из интерферирующих пучков, падающих на контролируемую поверхность. Таким образом, интерферирующие пучки развернуты один относительно другого на угол, вдвое больщий угла между главным сечением оборачивающей системы и

плоскостью, проходящей через оптические оси осветительного и наблюдательного устройств.

Предмет изобретения

Двухлучевой интерферометр для контроля качества поверхностей оптических деталей и аберраций объективов, содержащий осветительное и наблюдательное устройства и систему из плоских зеркал и светоделителей, имеющую две ветви, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности контроля, он снабжен оборачивающей системой, например, в виде трех плоских зеркал, установленной в одной из ветвей с возможностью поворота относительно оптической оси нтерферометра.

/ «.

/

-а

v-