УСТРОЙСТВО для ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ .(МАТЕРИАЛОВ Советский патент 1972 года по МПК H01L21/66 

Известно устройство для измере.1ия электропроводиостл нолупрОБОДпиковы.х материалов -по апт. св. № 247406, состоящее из системы дву.х трансформаторов и иолупроводпикового образца, который является вторичной обмоткой первого трансформатора и перв-ичной обмоткой второго траисформато ра питающего ге:нератора и нуль-1И1ИД-И катора.

Недостаткам.и известного устройства являются: ограниченные возможности измерений электропроводности, зависящей от ииердиониых явлений .в полупроводниковых образцах .и недостаточная точность при измерениях полуировОДнико-вых образцов с больщнм сопротивлеиием.

Цель изобретен-ия - повышеиие чуВСтвительиости при измерении иолупроводниковых м атериало-в с большой инерционностью и большим сОПротивлсн1ием.

Цель достигается тем, что во вторич.ную об|мотку компаисирующего трансформатора в кл юч а ется ден с а тор.

На чертеже иредставлеиа схема устройства.

Устройство состоит из генератора радиоимП1ульсо1В 1, питающего трансформатора 2, иолупр0водников10го образца 3, компенсирующего траисформатора 4, а-1уль-иидикатора 5, вторичлой обмотки компенсирующего трансформатора 6 н конде1гсатора 7.

ВтО|ричная компенсирующего траисформатора 6 и коиденсатор 7 образуюг I.; о л еб а т ел ь н ы и к от ту р.

Траисформатор 4 -имеет комиеисацион1ную обмотку 8, подключенную к обмотке 9 питающего тра.нсформатора через потенциометр 10.

Образец 3 является вторичной обмоткой питающего трансформатора и пер.вичной обмоткой компенсирующего тра.нсформатора. Напряжение питающего генератора радиоимиудьсов /, подключеииое к нервичиой обмотке трансформатора 2, индуцирует э. д. с., создающую в полупроводниковом образце 3 ток, вызывающий появление во вторичной обмотке трансформатора 4 э. д. с. Эта э. д. с. компенсируется напряжением, возникающ-им за счет тока, про.ходящего через обмотку 6, включеииую ;5стречно по отношешио к обмотке 8. Потен;циометр JO устанавлнвается тю нуль-иидикатору так, чтобы ток:во вторичиой обмотке трансформатора 4 отсутствовал. Велнчииа сопротивления иотеициометра W соответстпует conpOTiinлению полупроводникового образца 3.

Колебательньи коитур настроен в резонаис с частотой заполиеиия радиоимиульса, что позволяет получ ить большое электрическое поле, которое зависит от частоты заполнения, и измерять электропроводность полупроводниковых образцов с большим соиротивлеинем и большой ииерциои.иостью.

В ;сдс;п1с 1чолсбагслы ого копту.ра обсспечипасг увел.1че.пис ntpec4iiTai -iHoro сопротивле. iio|)i;i4ii()ii оолютки компенсирующего грапс(1)0 рматора, что уменьшает (1)ф11ЦИб11т ,дсл11тел5, состоящего из сопротивлеИмя образца и лересч.нта.шпого сап.рофивления перВНпюй обмотки шм11внсируюи1егэ траис(Ьорматора, а также увеличение точ ности из.м стреми я электропроводмости полупро,вод.11икоiiUiix образцов с больиШМ сопротивлоиием.

И ip с д м € т II 3 о б :р е т е л и я Устройство для Измерения электропр-оводиости Полупроводниковых материалов по авт. св. № 247406, отличающееся тем, что, с целью повышения чувствительности при нзмереппи полупроводниковых материалов с большой :инерционностыо и большим сопротивлением, во вторичную обмотку ком пеисируюшего трансформатора включен конденсатор.