УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ Советский патент 1969 года по МПК H01L21/66 

Изобретение относится к измерительной технике.

Известны устройства Для измерения электропроводности полупроводникового материала, содержащие трансформатор, вторичной обмоткой которого является образец, выполненный из исследуемого материала в виде замкнутого кольца.

С целью увеличения чувствительности и точности измерения, предлагаемое устройство содержит компенсирующий трансформатор, первичной обмоткой которого служит образец из исследуемого материала; питающий трансформатор снабжен дополнительной обмоткой, связанной через переменный резистор с компенсирующей обмоткой, установленной на компенсирующем трансформаторе, вторичная обмотка которого замкнута на измеритель электрического тока.

На чертеже изображена схема описываемого устройства, содержащего питающий трансформатор /, образец 2, компенсирующий трансформатор 3 и нулевой индикатор 4. Трансформатор 3 имеет компенсирующую обмотку 5, подключенную к дополнительной обмотке 6 трансформатора 1 через переменный резистор 7. Образец 2 является вторичной обмоткой, трансформатора J и первичной обмоткой трансформатора 3.

ку трансформатора 1, индуцирует э.д.с. в образце 2, которая создает в нем ток, вызывающий во вторичной обмотке трансформатора 3 э.д.с. Эта э.д.с. компенсируется током, прохощим через обмотку 5, включенную в противофазе, обмотку 6 и переменный резистор 7. Резистор 7 устанавливается так, чтобы во вторичной обмотке трансформатора 3 отсутствовал ток. Величина сопротивления резистора

7 соответствует величине сопротивления образца 2.

Устройство позволяет измерять электропроводность материалов собственной проводимостью с точностью до четвертого знака и регистрировать величину тока, в 10 раз меньщую тока первичной обмотки питающего трансформатора. Устройство пригодно для контроля технологических процессов производства полупроводниковых материалов и полупроводниковых приборов.

Предмет изобретения

Устройство для измерения электропроводности полупроводниковых материалов, содержащее питающий трансформатор, вторичной обмоткой которого является образец, выполненный из исследуемого материала в виде замкнутого кольца, отличающееся тем, что, с целью увеличения чувствительности и точности измерения, оно содержит компенсирующий трансформатор, первичной обмоткой которого служнт образец из исследуемого материала, питающий трансформатор снабжен дополнительной обмоткой, связанной через неременный резистор с компенсирующей обмоткой, установленной на компенсирующем трансформаторе, вторичная обмотка которого замкнута на измеритель электрического тока.